由于所涉及的氣體大部分是“高濃度”致密層，原子灰附著力測定難以將大的激發能連續傳遞給反應體系，而有些化學反應需要非常大的活化能，在常規技術條件下反應難以實現。。冷等離子體及其應用介紹 冷等離子體技術 等離子體通常被定義為一種部分電離的氣體，由激發的原子和分子、正離子和負離子、自由基、電子、光子等組成。它作為一個整體表現出電中性。等離子體一般分為平衡等離子體和非平衡等離子體。

(1) 電場+電子→高能電子（2）高能電子+分子（或原子）→（激發原子、激發自由基、自由基）活性基團(3) 活性基團+分子（原子）→產物+熱(4) 活性基團+活性基團→產物+熱 從上述過程可以看出，原子灰附著力測定電子首先從電場中獲得能量，然后通過激發或電離將能量傳遞給分子或原子。獲得能量的分子或原子被激發，一些分子被電離成活性基團。這些反應基團與分子或原子、反應基團和反應基團碰撞后，產生穩定的產物和熱量。

氣體被電離，原子灰附著力有什么不好被電離的氣體中含有大量的電子、離子以及部分中性粒子（原子和分子），其間電子和離子的電荷數差不多持平，宏觀上或均勻意義上它是電中性的。以水為例進行說明： 　　當溫度在0℃以下時水會出現固態，便是“冰”；當溫度在0℃到 ℃之間，水會變成液態，也便是“水”；當溫度上升到 ℃以上，水就會變成氣態，也便是“水蒸氣”。

當電源接通后,放電腔內的兩平板電極組成的電容結構之間產生高頻電場，原子灰附著力測定電子在電場的作用下被賦能，做快速的往復運動，激發原子放電。由于電子的平均自由程要比放電腔室的尺寸大得多，這些電子會轟擊在極板上并產生二次電子發射，從而獲得電子倍增，這些金屬極板上產生的二次發射電子將穩定地維持這種放電并起主要作用，而由氣體電離所產生的二次發射電子起次要作用。

原子灰附著力測定

其基本原理：在氧等離子體中的氧原子自由基、激發的氧分子、電子、紫外線的共同作用下，鍵斷裂后的有機污染物元素為高活性氧離子，與CO等分子結構發生化學反應、CO2和H2O形成與表面分離，達到表面清洗、活化、蝕刻的目的。等離子清洗機中的氧氣主要用于聚合物材料的表面活化和有機污染物的去除，但不適用于可氧化的金屬表面。

另一種等離子清洗在物理和化學變化的表面反應機理中起重要作用，即等離子設備的反應離子刻蝕或離子束刻蝕。兩者可以互相促進清潔。離子沖擊會破壞干凈的表面，削弱其化學鍵或形成容易吸收反應物的原子狀態。離子的碰撞加熱待清潔的物體，使反應更容易發生。效果是優良的選擇性、清洗速度、均勻性和方向性。介紹由等離子設備的典型物理清洗過程組成的氣體。等離子物理清洗工藝是氬等離子清洗。

假設反應室工作壓力穩定，總流量上升，泵送體積也會上升，不參與反應的活性顆粒的泵送體積也會上升，因此流量對脫膠沒有明顯影響。。

CO2 百分比變化的峰值。當CO2濃度為50%～65%時，達到24%左右。研究表明，在等離子等離子體的作用下，CO2 對 CH4 進行氧化的一個重要步驟是產生活性物質。即等離子體產生的高能電子與 CH4 和 CO2 分子發生彈性或非彈性碰撞。 CH 不斷被破壞。 , CHx (x = 1-3) 產生自由基。

原子灰附著力有什么不好

表3-2 等離子體發生器能量密度對H2氣氛下C2H6反應的影響Ed/(kJ/mol) XC2H6/% YCH4/% YC2H4/% YC2H2/%320 37.6 2.6 3.7 10.6640 45.2 6.1 8.7 21.2860 59.2 7.0 9.2 28.7 0 61.6 7.9 9.6 34.6注：反應條件為C2H6/H2=2。

等離子體清洗的效果主要取決于多種因素，原子灰附著力有什么不好包括化學性質、工藝參數、功率、時間、元件放置和電極結構的選擇。使用各種清洗設備對不同結構、不同種類的電極連接,反應氣體,其工藝原理也有很大差異,有的是生理反應,一些化學反應,另一種是物理化學,和響應的有效性取決于等離子體氣體源,結合等離子體系統和等離子體處理的操作參數。等離子體蝕刻和等離子體脫膠是濕化學清洗的綠色替代品。