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深圳市金徠技術有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

真空等離子清洗機 60L

  • 產品型號 JL-VM60
  • 產品類別 真空等離子清洗機
  • 應用范圍

    微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。


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微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。

型號

JL-VM60

等離子源系統

 

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

 

0~1000W可調

0-3000W可調

            

真空系統

真空腔體

材質

316L不銹鋼、航空鋁(選配)

腔體內部尺寸(MM)

400*400*400(寬高深)

腔體容積

60L

極板

5層極板5層托盤可拆卸式,層間距30mm,水平式,活動可調節

 可放最大產品尺寸

  320mm*280mm

密封性

軍工級焊接密封

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合(選配)20?/H

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質量流量計

±1% FS  質量流量控制(MFC)系統

氣路控制

2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調

真空度基礎壓力設定范圍

10Pa-50Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

ArN?O?H?等等(可選)

控制系統

1PLC 自動控制;

27寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息;

6、存儲工藝數據及錯誤信息;

7、配備聲光報警裝置,報警信息提示及追溯;

  8、保護功能:工作氣體耗盡報警、壓縮空氣力低于設定值報警、反應倉泄露率過大報警、控制面板處設急停按鈕等

  9、免靜電清洗等多種清洗模式

10、圖形化界面檢測處理參數;

11、自動、手動操作可切換;

12、維護提示緊急停止按鈕;

13、門感應器和真空互鎖;

14顯示功能:工藝參數顯示;運行時間顯示;工藝過程實時監視并顯示運行狀態,如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態,如泵的、射頻電源監視并顯示運行狀態,如泵的、 射頻電源質量流量等;故障報警,提示項目

15、機器運行信號指示;

16、機器運行結束提示;

17設備無WIFI,無藍牙,無讀卡器等相關裝置

外觀參數

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(寬高深)

 

320KG

設施配置

 

五線線三相制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定

整機功率

2KW

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA 0.5MPa

 

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.


真空等離子清洗機 60L應用

微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。

微組裝模塊的引線鍵合前清洗,清洗過程不會損傷裸芯片等敏感、易損器件;對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。


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