二、等離子體表面處理設備聚合工藝的應用方向等離子體表面處理設備等離子體聚合工藝形成的聚合物薄膜不同于一般聚合物薄膜，膠膜達因值單位在性能上被賦予了新的功能，因此成為開發功能性聚合物薄膜的有效途徑，并廣泛應用于半導體、電子、Yi治療等領域的后續特定產品中。1）光刻膠膜；2）電子元件及傳感器薄膜；3）生物醫用專用膜；4）光學材料反射膜；5）疏水/親水膜、離型膜、絕緣膜、防銹膜等。。

氧分子和電子混合在等離子體中，膠膜達因值單位其中自由氧原子具有很強的空氣氧化能力（約10-20%)，在高頻電壓下與晶圓光刻膠膜發生反應:O2→O*+O*，CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。產生的二氧化碳和水發生反應，立即被泵出。表面等離子刻蝕機等離子除膠機具有使用方便、效率高、表面清潔、無劃傷、成本低、綠色環保等特點。

COF封裝結構示意圖如圖1-2所示，膠膜達因值單位上面為俯視圖，下面為側面圖。圖1-2 COF 封裝技術結構示意圖通過ACF（AnisotropicConductiveFilm，異性導電膠膜）將COF撓性基板、IC、玻璃面板線路進行連接，并使用傳統回流焊將COF撓性基板與被動元件（電容、電阻等）焊接，就構成了一個完整的COF封裝顯示模塊，圖1-3為COF封裝顯示模塊示意圖。

在塑料袋印刷過程中，啞膠膜達因值測那一面為了更好地提高產品的水平，為了更好地提高防水防潮的基本功能，或者為了保證印刷品在商品流通中不被摩擦，首飾盒、手表盒、牙膏盒、煙盒、酒盒、禮品盒、彩盒的外觀一般都會有表面處理，如環保水輕油或UV油或啞膠膜。這時，如果膠接界面還沒有做表面處理，就會出現粘接不穩脫膠的問題。

啞膠膜達因值測那一面

在塑料袋印刷過程中，為了更好地提高產品的水平，為了更好地提高防水防潮的基本功能，或者為了保證印刷品在商品流通中不被摩擦，首飾盒、手表盒、牙膏盒、煙盒、酒盒、禮品盒、彩盒的外觀一般都會有表面處理，如環保水輕油或UV油或啞膠膜。這時，如果膠接界面還沒有做表面處理，就會出現粘接不穩脫膠的問題。

印刷包裝表面開膠 就用研創等離子表面處理解決在印刷包裝工藝中，為了提高產品的檔次，為了提高防水功能，或者保證印刷品在流通中不被蹭花，首飾盒、表盒、牙膏盒、煙盒、酒盒、禮品盒、彩盒的表面一般都會有表面處理，如：過環保水光油或上UV油或過啞膠膜。這時，如果粘接口做了表面處理，就會出現粘接不牢固，開膠的現象。

等離子體清洗技術的最大特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。

尤其是處理時間超過7分鐘時，木材表面受高能電子影響較大，離子相對不間斷，儲能大，局部區域蝕刻過深。等離子火焰處理機在木材表面有大量的含氧官能團和過氧化物。對于某些羧基、羰基等顯色基團，等離子體高能放電使木材表面溫度升高，更容易出現局部顏色。它變暗并導致碳化。對木材進行低溫等離子放電處理，處理時間優選為3分鐘。。

膠膜達因值單位

局部均勻性以 LER 為特征，啞膠膜達因值測那一面Cu 突起的電場強度遠高于其他區域的電場強度，使介質擊穿的可能性更大。通過優化圖案化方法，例如在溝槽蝕刻中使用金屬硬掩模，可以顯著提高 LER。隨著圖形尺寸的縮小，LER的影響越來越大，如何用精細的圖形手段提高LER是一個永恒的主題。由于蝕刻后的溝槽總是具有一定的傾斜角，例如85°，因此電介質頂面的寬度不僅取決于蝕刻所定義的尺寸，還取決于化學機械拋光的深度。