還有許多難以去除的氧化物可以用氫氣 (H2) 清洗。但是，玻璃上碰什么附著力比較強(qiáng)只有在真空條件下具有出色的密封性能才能使用。還有許多獨(dú)特的蒸氣，例如（CF4）和（SF6）。蝕刻去除有機(jī)物的（效果）更加顯著。但使用該類氣體的前提是具有較強(qiáng)的耐腐蝕氣路和中空結(jié)構(gòu)，并佩戴防護(hù)套和手套。第六種常見(jiàn)氣體是氮?dú)?(N2)。此類氣體主要用于在線等離子體（活化）活化和材料表面改性。當(dāng)然，它也可以在真空環(huán)境中使用。

另外，附著力比較好的油漆高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

等離子體的活性和非活性氣體根據(jù)產(chǎn)生等離子體所用氣體的化學(xué)性質(zhì)不同，玻璃上碰什么附著力比較強(qiáng)可分為非活性氣體等離子體和活性氣體等離子體。惰性氣體如氬氣(Ar)、氮?dú)?N2)、氟化氮(NF3)、四氟化氮(CF4)、活性氣體和氧氣(O2)、氫氣(H2)等。不同類型的氣體在清洗過(guò)程中有不同的反應(yīng)機(jī)理，活性氣體等離子體具有較強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性。

整個(gè)清洗過(guò)程可以在幾分鐘內(nèi)完成，玻璃上碰什么附著力比較強(qiáng)因此具有收率高的特點(diǎn);六、等離子體清洗需要控制真空度Pa左右，這種清洗條件容易實(shí)現(xiàn)。

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由此產(chǎn)生的等離子體密度可以達(dá)到1017-1018m^3，電子溫度2-4eV，直徑30cm。由于很容易在寬壓力范圍（1 至 40 Pa）內(nèi)獲得大直徑、高密度的等離子體，近年來(lái)，ICP在半導(dǎo)體等離子處理技術(shù)中得到廣泛應(yīng)用。由c=λν可知，13.56MHz的電磁波波長(zhǎng)為22m，比天線的長(zhǎng)度還長(zhǎng)，所以位移電流可以忽略不計(jì)，采用準(zhǔn)靜態(tài)法處理心臟的磁場(chǎng)。

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目的是去除特定物質(zhì)并修飾材料表面。。等離子清洗機(jī)（PLASMA CLEANER）也稱等離子清洗機(jī)等離子清洗機(jī)（PLASMA CLEANER）也稱等離子清洗機(jī)或等離子表面處理機(jī)，是一種利用等離子實(shí)現(xiàn)常規(guī)清洗方式的高新技術(shù)。達(dá)不到效果。等離子體是物質(zhì)的狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四狀態(tài)，不屬于一般固液氣體的三種狀態(tài)。等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn) 1、等離子清洗后的待清洗物體干燥，無(wú)需進(jìn)一步干燥即可送至下道工序。

帶電粒子的這一性質(zhì)和動(dòng)能在磁力作用下不發(fā)生變化，因此帶電粒子受到特定形式的非均勻磁場(chǎng)的束縛。例如，地球磁場(chǎng)捕獲帶電粒子以形成地球輻射帶（范艾倫帶）。用于熱核聚變的受控磁鏡裝置也利用這一特性來(lái)限制等離子體。。等離子波形非常復(fù)雜。既有橫波（波矢k垂直于電場(chǎng)E）和縱波（k平行于E），又有非橫波和非縱波之分。有橢圓偏振波、圓偏振波和線偏振波。波的相速度可以大于、等于或小于光的真空速度c。

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