等離子體技術從20世紀60年代問世以來，已經經歷了從科研到實際應用的重大變化，等離子清洗機的應用的領域也在不斷擴大,目前已在眾多高科技領域中，居于關鍵技術的地位。等離子清洗技術對產業經濟和人類文明影響最大，首推電子資訊工業，尤其是半導體業與光電工業，等離子清洗已應用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術，就沒有今日這么發達的電子、資訊和通訊產業。
（1）等離子清洗機在大規模集成電路和分立器件行業中的應用
在大規模集成電路和分立器件行業中，等離子體清洗一般應用于以下幾個關鍵步驟中
1、去膠，用氧的等離子體對硅片進行處理，去除光刻膠；2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗；3、混合電路粘片前的等離子體清洗；4、鍵合前的等離子體清洗；5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗。例如，在一個COB基板上，在SMT元件粘接好后進行IC芯片的引線鍵合。在表面安裝元件粘接后，會有大量的助焊劑污染物和水殘余，而為了在PCB基板上可靠地進行引線鍵合，這些必須去除。
（2）等離子清洗機在塑料制品進一步加工前的處理工序的應用
由于等離子體清洗清污除油效果好，不僅不會對塑料基體的性能造成不良影響，而且在一-定程度上還能改善塑料的表面性能。因此在塑料制品鑄模完成后，進--步加工之前常進行--次等離子體清洗，以清除脫膜劑等油污并使塑料制品發生“活化”，性能得到改善。過去在汽車塑料配件如汽車保險杠和大燈反光碗的鑄模制造過程中都用到石蠟系、皂系或硅系的有機脫模劑，在鑄模完成之后過去通常使用氟利昂或三氯乙烷等ODS溶劑進行清洗以去除脫模劑。在當前禁用ODS清洗劑的形勢下，可采用等離子體清洗。
①汽車保險杠涂裝前的清洗。汽車保險杠是聚丙烯塑料制品，在鑄模成型之后進行涂裝之前，可用等離子體進行清洗，為了使保險杠的所有部位都能受到等離子體均勻的處理，產生等離子體時使用的高頻波不能是方向性很強的微波，而應是方向性不太強的無線電波。
②汽車用的微型繼電器外殼的清洗。微型繼電器的外殼是用聚苯乙烯塑料制成的，在鑄塑完成后要在其外部印字,在其內部用環氧樹脂密封，為了達到全面除油脫脂和使其表面活化的目的，過去也是用氟利昂處理，現可改用等離子體清洗，主要的成本消耗就是氯氣和必要的電力，大大降低了生產成本。
另外用聚碳酸酯制造的汽車前大燈反光鏡在完成鑄模之后在進行真空鍍鋁膜之前，可用同樣的方法進行等離子體清洗。也可以達到去除油污并使塑料表面活化的效果。
（3）等離子清洗機對玻璃表面污垢的清除的應用
用等離子體清洗可以除去各種玻璃制品上的污垢,玻璃不僅包括普通玻璃，而且包括各種光學鏡頭用玻璃、電視熒光屏、彩管玻璃等特種玻璃，被清除的污垢通常是水和油污。
氧化銦錫(ITO)膜導電玻璃的等離子體清洗:氧化銦錫膜導電玻璃由于具有很高的可見光透射比和電導率，而被用作液晶顯示等平板顯示器的透明導電電極。要制造出高質量的液晶顯示器要求形成的(ITO)膜層必須具有針孔少、表面無顆粒、膜層黏附力強的特點。而用常規的清洗方法清洗和烘干處理玻璃基片，很難徹底清除吸附在玻璃表面的污垢顆粒。而在運輸、搬運過程中由于其表面暴露在空氣中，難免吸附上環境中的氣體、水汽和灰塵，如果不加處理就會造成膜層與基片結合力不強，產生針孔和顆粒等問題。這些問題可以通過用等離子體在線清洗底基玻璃的方法加以解決。
實踐證明用等離子體清洗去除各種玻璃表面上殘留的水滴有很好的效果。這種情況下使用的是不活潑的氣體，如氯氣、氮氣等。其中氮氣的相對密度比氮氣大，化學性質也更不活潑。不活潑氣體用于等離子體清洗，它的物理作用比較突出，特別是對玻璃和金屬表面微量吸著的殘留水膜和有機污垢的去除很有效。在用等離子體清洗過程中存在這樣的規律，真空室的真空度越高，使用的高頻電壓越高，清洗效果越好，產生的廢物氣體越易被排除，也有利于防止清洗對象被二次污染。
（4）等離子清洗機的其他應用應用領域
①金屬材料表面的除油處理。
利用等離子體的特殊反應性能使油脂分解并最終氣化的除油方法，在理論上可看成是種精密除油法。由于它可以將使用濕法清洗或超聲波清洗時很難觸及的狹縫和孔洞深處的油污清洗干凈。因此它比通常采用濕法清洗時的除油率更高。等離子體清洗除油可應用于要求高度除油的觸點元件等電子部件的最終清洗、金屬密封墊黏合橡膠前的除油清洗、各種工具進行離子噴鍍前的精密清洗、在不同種類的金屬黏合前的去油及表面活化處理等。在減震器制造過程中如果先用等離子體進行除油處理再進行噴水拋光，就可避免圓珠拋光材料被油污染。
電氣觸點特別是只有微弱電流通過的微型繼電器的電器觸點，它表面的潔凈度高低對它的性能有重要的影響。當觸點表面殘留有油污時，經過長期使用油脂就會發生炭化而增大接觸電阻，就會因為接觸不良而導致運作失誤。-項采用不同清洗工藝的對比實驗的結果表明:分別用氟利昂溶劑、等離子體、水基加等離子體不同方法對50個觸點元件進行清洗并測量其接觸電阻，發現用等離子體清洗的效果與用氟利昂清洗的效果相當或者更好一-些。在用等離子體清洗對氧化敏感的冷軋工具鋼、銅合金及銀合金等時，應注意不要使用氧氣等活潑氣體的等離子體,并采取措施防止金屬因溫度升高和與外界空氣接觸而造成氧化。
②在隱形眼鏡清洗中的應用。
目前使用的隱形眼鏡是用有機玻璃(聚甲基丙烯酸甲酪)制成的，它具有折射率高、硬度合適、生物親和性好等優點，但它存在親水性差的缺點，長期佩戴會造成眼睛不適，另外它對氧氣的通透性較差，易造成佩戴時引起眼睛發炎等問題。研究發現使用等離子體清洗技術不僅可以去除隱形眼鏡表面的污垢，而且利用乙炔、氮氣和水形成的等離子體聚合物鍍在隱形眼鏡的表面形成--個薄膜，可以改善它的親水性、保濕性和透氣性。用等離子體清洗不僅可將隱形眼鏡上的各種污垢清除干凈，而且具有對材料性能影響小，可在較長一段時間里有效減少被污染可能的優點。
等離子體清洗的過程不使用化學試劑，不會造成二次污染;等離子清洗機可重復性強，所需設備和運行成本比較低，而且操作靈活簡單，可以實現對材料表面的整體或某些局部及復雜結構的清洗，有些經過等離子體清洗后的表面性能還可以得到改善，等離子清洗機的應用領域將會越來越廣泛。24813