利用真空等離子表面處理系統可在FPC板生產制造過程中清除多層軟板孔壁的殘膠；等離子表面處理強化材料，激光表面改性處理如鋼片、鋁片、FR-4等；分解由于激光切割而產生的金手指碳化物；去除由于制作精細線條而產生的干膜殘膠。1、多層軟板孔壁殘膠的清除：采用真空等離子表面處理系統進行清洗處理，可徹底清除孔洞內的污垢，增加孔壁與鍍銅層的結合力，提高孔鍍即PTH的可靠度和良率，并防止內層開路和導通不良。

柔性印制板上的通孔可以像剛性印制板一樣進行數字鉆孔，激光表面改性處理但不適用于在膠帶和膠帶中的雙面金屬化孔電路中鉆孔。由于電路圖案的高密度、金屬化孔的小直徑以及數控鉆孔的直徑有限，許多新的鉆孔技術已經投入實際應用。這些新的鉆孔技術包括等離子蝕刻、激光鉆孔、微孔沖壓和化學蝕刻。這些鉆孔技術比數控鉆孔更容易滿足卷帶加工的鉆孔要求。 1.數控鉆頭在雙面柔性印刷電路板上鉆孔幾乎總是使用 CNC 鉆孔機完成。

激光后可以對孔壁和底部進行清潔、粗糙和再生。鉆孔。大大提高了激光鉆孔后PTH工藝的良率和可靠性，激光表面改性處理克服了鍍銅層和孔底銅材存在裂紋。。低溫等離子清洗機也是一種干洗方式。與傳統的濕式清洗機相比，等離子清洗機具有工藝簡單、操作方便、可控性高、精度高等優點。它清潔外部一次，無殘留。相反，如果不進行一次濕法清潔，則會留下殘留物。大量使用溶劑對環境和人體有害。等離子清洗機采用化學反應和物理反應兩種清洗過程。

本發明專利技術的主要特點是:蝕刻均勻，激光表面改性處理激光重熔不改變基體的性質，能有效地粗化材料的表層，控制腐蝕。。真空等離子體清洗設備可以清洗半導體元器件、光學元器件、電子元器件、半導體元器件、激光器件、鍍膜基板、終端器件等。同時也可以清洗光學鏡片，清洗各種鏡片和載片，如光學鏡片、電子顯微鏡載片、真空等離子清洗機具有性能穩定、性價比高、操作簡單、成本低、維護方便等特點。

激光表面改性處理

清洗是許多工業生產過程中的局部工序、過程或輔助活動。對于某些傳統行業來說，清洗已被視為一種簡單的過程或常識，但通常并不被重視。但是清洗的好壞直接影響到產品的性能和質量。尤其在當今的高科技行業，等離子清洗機的清洗技術作用更為突出。近幾年來，新型等離子真空清洗、等離子清洗、紫外/臭氫清洗、激光清洗等新型清洗技術和設備不斷地被開發應用。如干冰氮氣清洗等，顯示了良好的效果和應用前景。

由于它是一種干燥工藝，省去了濕法化學處理工藝中不可缺少的干燥和廢水處理工藝，具有節能、環保、無污染等優點。其次，等離子清洗機的厚度是納米級的，不會損害材料的性能。與光、激光、電子束、電暈等其他干法工藝相比，等離子的獨特之處在于，等離子表面處理效果的深度只與基片表面相當薄的一層有關。

金屬表面常常會有油脂、油污等有(機)物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，如果要求比較高，如果想要得到更好的(效)果，就有必要用等離子處理來得到潔凈和無氧化層的表面。

5汽車傳感器傳感器在汽車領域的應用越來越廣泛，對其性能要求也越來越高，如殼體與內部電子元件之間的粘結的可靠性和密封性非常重要。低溫等離子體表面處理不僅可以完全去除有機物的殼使PPS,連結控制協定和其他材料,而且提高相關材料的表面能,提高環氧樹脂的粘接強度,避免泡沫,確保傳感器的可靠性和使用壽命。發動機曲軸油封作為防止發動機漏油的關鍵部件，其重要性越來越受到各發動機廠家的重視。

激光表面改性處理

　　目前各種薄膜的生產已經普遍采用電暈處理的方法來解決表面親和性的問題。　　由于電暈只能在兩個相鄰的平行電極間進行，激光表面改性處理激光重熔且距離不能過大，所以電暈處理的方法不適合用來處理三維物體的表面極化問題。如果用火焰法來處理，其弱點是所有聚合物都是易燃和熔點低。當有機材料置于高溫火焰下時，會因受高溫的處理而變形、變色、表面粗糙、燃燒和散發出有毒氣體。且處理工藝難以掌握。　　三維物體表面的改性處理采用等離子處理工藝為最佳方案。

激光重熔可以增加涂層的硬度，激光表面改性處理激光重熔顯著提高耐磨性和致密性，而真空等離子噴涂和激光等離子混合噴涂等噴涂方法可以顯著提高涂層的粘合強度。隨著等離子噴涂技術、設備和工藝的不斷改進和完善，該技術與其他表面技術相結合，進一步提高噴涂效率，降低成本，具有更廣泛的潛在應用。。等離子表面處理機清洗設備：隨著電子信息技術產業的發展，通訊、電子計算機、電子設備、半導體材料、液晶顯示器、光電產品等工業清洗設備的比重越來越大。