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通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵，珠海生產(chǎn)等離子清洗機腔體生產(chǎn)廠商高頻電源通常用13.56M赫茲的無線電波，設(shè)備的運行過程如下：（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時間大約需要2min。（2）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在 Pa。 根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等氣體。
可以提高整個工藝線的加工效率； 2.等離子清洗避免了對人體有害的溶劑，珠海生產(chǎn)等離子清洗機腔體生產(chǎn)廠商避免了濕法清洗容易清洗物體的問題； 3.避免使用 該清洗方法是一種環(huán)保的綠色清洗方法，因為它使用三氯乙烷和其他 ODS 有害溶劑，清洗后不會產(chǎn)生有害污染物。隨著世界對環(huán)境保護(hù)的極大興趣，這一點變得越來越重要。第四，無線電范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。
蒸發(fā)器配備了電子槍，珠海生產(chǎn)等離子清洗機腔體生產(chǎn)廠商通過磁場或電場對電子束進(jìn)行加速聚集，使其集中于汽化物質(zhì)的局部位置，形成加熱束斑。光束斑點溫度達(dá)到3000~6000℃，能量密度達(dá)到20kW/cm2。 在非金屬涂層中，汽化原料的高氣化溫度和汽化會導(dǎo)致汽化過程中汽化區(qū)域的高溫，大量的輻射熱使基材吸收過多的熱能，提高溫度；同時，氣化分子、離子等顆粒在基材表面凝結(jié)成膜時釋放的熱量導(dǎo)致基材溫度過高，熱變形嚴(yán)重。
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污染物質(zhì)的出現(xiàn)，如氧化物質(zhì)、有機化學(xué)雜質(zhì)等都是會明顯削減引線鍵合的抗拉強度值。傳統(tǒng)式的濕式清潔對鍵合區(qū)的污染物質(zhì)清除不充分或是無法清除，而運用低溫低溫等離子處理機能有效的清除鍵合區(qū)的表層臟污并使其表層活化，能大幅度提高引線的引線鍵合抗拉強度，提升封裝元件的可靠系數(shù)。
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