由此產(chǎn)生的等離子體密度可以達(dá)到1017-1018m^3，油漆底材附著力不好的原因電子溫度2-4eV，直徑30cm。由于很容易在寬壓力范圍（1 至 40 Pa）內(nèi)獲得大直徑、高密度的等離子體，近年來(lái)，ICP在半導(dǎo)體等離子處理技術(shù)中得到廣泛應(yīng)用。由c=λν可知，13.56MHz的電磁波波長(zhǎng)為22m，比天線的長(zhǎng)度還長(zhǎng)，所以位移電流可以忽略不計(jì)，采用準(zhǔn)靜態(tài)法處理心臟的磁場(chǎng)。
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在利用等離子體對(duì)材料進(jìn)行改性或清洗時(shí)，附著力不好表面預(yù)處理通常使用的是低溫等離子體，氣體溫度都不會(huì)超過(guò) °，這是宏觀上來(lái)講的；但從微觀上來(lái)講，當(dāng)?shù)入x子體與材料表面發(fā)生化學(xué)或物理反應(yīng)時(shí)，假如能量在某個(gè)局部區(qū)域聚集，材料處理時(shí)間一旦過(guò)長(zhǎng)，就有可能對(duì)某些材料表面造成損傷。
氫離子等離子發(fā)生器電源等離子體放電時(shí)選用惰性氣體進(jìn)行等離子體表面處理，附著力不好表面預(yù)處理如果聚合物材料本身含有氧氣，大分子裂解產(chǎn)生大分子碎片，進(jìn)入等離子體，為等離子體系統(tǒng)提供氧氣，也會(huì)產(chǎn)生氧氣等離子體效應(yīng)。
在線式等離子清洗機(jī)與離線式等離子清洗機(jī)按照是否在線又可以分為批量離線式等離子清洗機(jī)，附著力不好表面預(yù)處理和在線式等離子清洗機(jī)。隨著等離子清洗技術(shù)的大量運(yùn)用，不同行業(yè)對(duì)等離子清洗機(jī)的需求程度不一樣，促使以前離線式的真空等離子清洗機(jī)不在能滿足企業(yè)的生產(chǎn)需求，因此在線式真空等離子清洗機(jī)便應(yīng)用而生。批量式等離子清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括:反應(yīng)倉(cāng)、殼體、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電源以及真空系統(tǒng)等。
油漆底材附著力不好的原因
材料需要活化（化學(xué)），改性材料需要用13.56MHz或20 MHz等離子體清洗，40kHz的自偏壓約為1000伏，13.56MHz的自偏壓約為250V，20 MHz的自偏壓更低，這三種不同激發(fā)速率的體系是不同的。
在高壓電極和接地電極之間施加高頻和高頻交流電，使兩個(gè)電極之間的氣體電離，形成等離子體區(qū)域。等離子體在氣流的驅(qū)動(dòng)下到達(dá)被加工物體表面，達(dá)到改變物體表面的目的。
其中一種常見結(jié)構(gòu)是螺旋型結(jié)構(gòu)，采用的是圓筒螺旋狀線圈類型，如下圖所示。 另一種常見結(jié)構(gòu)是盤香型結(jié)構(gòu)，采用的是平面盤繞狀線圈類型如下圖所示。 此外，有一種較為特別的盤香型結(jié)構(gòu)是將盤繞狀線圈加入等離于體內(nèi)部的放電類型，其結(jié)構(gòu)如下圖所示。。
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