等離子清洗的優(yōu)勢：輝光等離子清洗機的優(yōu)勢一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，哪些溶劑對附著力有影響不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率；二、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題； 三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。

其清洗優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）清洗后的材料表面沒有殘留物，哪些溶劑對附著力有影響并且可以通過選擇、搭配不同的氣體與等離子體混合的清洗類型，產(chǎn)生不同的清洗(效)果，滿足后續(xù)處理工藝對材料表面特性的多種需求；（2）由于等離子體的方向性不強，因此方便清洗帶有凹陷、空洞、褶皺等復(fù)雜結(jié)構(gòu)的物件，適用性較強；（3）可處理多種基材，可兼容多種類型的基材，因此特別適合清洗不耐熱和溶劑的基體材料；（4）清洗過后無需干燥或其他工序，無廢液產(chǎn)生，同時其工作氣體排放無二次污染，綠色環(huán)保；（5）使用簡便、易控、快捷，同時此工藝避免了大量溶劑的使用，因此成本較。

處理優(yōu)勢二：等離子清洗機采用氣相反應(yīng)，哪些溶劑對附著力有影響整個反應(yīng)過程不使用溶劑和水，僅使用少量工藝氣體，不會產(chǎn)生有害物質(zhì)，可以更好地保持生產(chǎn)環(huán)境清潔，也沒有廢液處理成本，是一種環(huán)保工藝。處理優(yōu)勢三：長期來看，處理成本小，等離子清洗機不需要使用有機溶液，因此長期來看，其總成本遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)清洗工藝。治療優(yōu)勢四：治療效果較好。等離子體是物質(zhì)的第四種狀態(tài)，具有很好的擴散性，可以深入細(xì)孔。清潔度與傳統(tǒng)方式相去甚遠(yuǎn)。

超聲波等離子的自偏壓在0V左右，溶劑對附著力影響高頻等離子的自偏壓在250V左右，而微波等離子的自偏壓很低，只有幾十伏，三種等離子的機理不同.超聲波等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)是物理反應(yīng)，高頻等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)既是物理反應(yīng)又是化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。高頻等離子清洗和微波等離子清洗主要用于現(xiàn)實世界的半導(dǎo)體制造應(yīng)用，因為超聲波等離子清洗對要清洗的表面有很大的影響。。

溶劑對附著力影響

第三個環(huán)節(jié)是優(yōu)化引線鍵合（打線） 芯片引線鍵合 集成電路引線鍵合的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有決定性影響，鍵合區(qū)必須無污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在，如氧化物、有(機)殘渣等都會嚴(yán)重削弱引線鍵合的拉力值。傳統(tǒng)的濕法清洗對鍵合區(qū)的污染物去除不徹底或者不能去除，而采用等離子清洗能有效去除鍵合區(qū)的表面沾污并使其表面活(化)，能明(顯)提高引線的鍵合拉力，極大的提高封裝器件的可靠性。

，一種用于撞擊混合氣體分子結(jié)構(gòu)的電子設(shè)備。等離子體由電子器件、離子、自由基、激發(fā)分子和原子、基態(tài)分子結(jié)構(gòu)和光子組成。表面是電中性的，但實際上內(nèi)部結(jié)構(gòu)具有很強的電學(xué)、化學(xué)和熱電特性。影響。真空系統(tǒng)等離子清洗機形成的等離子體屬于不穩(wěn)定等離子體，混合氣體的工作溫度遠(yuǎn)低于電子器件的工作溫度，電子質(zhì)量小到可以忽略不計。

當(dāng)高壓接近大氣壓時，電子、離子和中性粒子會因強烈碰撞而充分交換動能，使等離子體達到熱平衡狀態(tài)。電子溫度接近離子溫度，屬于低溫等離子體中的熱等離子體。而真空低壓環(huán)境下清洗時產(chǎn)生的等離子體往往處于非熱平衡狀態(tài)，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，屬于低溫等離子體中的冷等離子體。因此，根據(jù)等離子體表面處理設(shè)備產(chǎn)生等離子體的性質(zhì)，一般不會對材料造成危害，但需要實際考慮材料耐熱溫度、處理時間等因素的影響。

在等離子體系統(tǒng)中，許多類型的活性粒子會引起許多反應(yīng)，因此在反應(yīng)過程中幾乎不可能操縱特別重要和決定性的粒子。在等離子體環(huán)境中，高能粒子可以破壞分子中的共價鍵。高能電子參與電子能量分布函數(shù)的尾部以及非平衡等離子體中存在的強局部電場可能導(dǎo)致新的化學(xué)反應(yīng)。等離子體環(huán)境適用于許多化學(xué)反應(yīng)。產(chǎn)生特定反應(yīng)的能力主要取決于輸入過程參數(shù)，例如氣體類型、流速、壓力和輸入功率。邊界和基地之間也有各種影響。

溶劑對附著力影響

等離子體被稱為繼“固、液、氣”三態(tài)以外的新的物質(zhì)聚集態(tài)，溶劑對附著力影響即物質(zhì)第四態(tài)。等離子體按照離子溫度又分熱等離子體和冷等離子體（低溫等離子體）。低溫等離子體帶電粒子溫度為1～10eV，系統(tǒng)主要由帶電粒子支配，受外部電場、磁場和電磁場的影響，存在多種基元過程及等離子體與固體表面的相互作用，具有獨特的光、熱、電等物理性質(zhì)。