也可以同時用多種氣體處理。 3. 焊接 通常，電感耦合等離子體質譜儀原理灰化 原子化 電離印刷電路板在焊接前應進行化學處理。焊接后，這些化學物質需要等離子去除。否則，可能會出現腐蝕和其他問題。等離子體表面處理的原理是在真空狀態下，壓力變小，分子間距離變大，分子內力越來越小。氣體振蕩成高反應性或高反應性離子。施加能量后，與有機污染物和細顆粒污染物發生反應或碰撞，產生揮發性物質，這些揮發性物質通過工作氣流和真空泵去除，對表面進行清潔。清潔的目的。

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當電流相同時，等離子體質譜儀射頻等離子體鞘層與等離子體面積的分布比例基本相同。在電流密度為 0.06 A/CM2 的情況下，隨著放電間隙的逐漸增大，鞘層開始逐漸增大，無論是實驗還是計算，當極板間隙增加到 500 μM 時，鞘層厚度基本會保留 215 μM。它在 M 內保持不變。等離子體區域的厚度從 μM 單調增加到 900 μM。

這不僅降低了反應粒子的濃度，等離子體質譜儀而且還冷卻了等離子體，減慢或停止反應速率。 1 高頻感應等離子發生器又稱高頻等離子炬或高頻等離子炬。無極電感耦合用于將高頻電源的能量輸入到連續氣流中進行高頻放電。 2 電弧等離子發生器，也稱為電弧等離子炬或等離子噴槍，有時也稱為電弧加熱器。這是一種可以產生定向低溫（約2000-20000K）等離子射流的放電裝置。

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（電磁干擾的預防 1）對于輻射電磁場強的零件和對電磁感應敏感的零件，要增加它們之間的距離或考慮加屏蔽罩。 (2)不要將高壓分量和低壓分量混在一起，不要將強信號和弱信號的分量交錯。 (3)對于產生磁場的部件，如變壓器、揚聲器、電感等，在布局時要注意減少磁力線對印制線的斷線，并注意走線的方向。相鄰部件的磁場。使它們相互垂直，減少它們之間的聯系。圖 9-2 顯示了與電感成 90° 的電感布局。

在反應室中，快速變化的感應磁場在反應室中產生感應電場，其中第一個電子獲得能量，然后是冷等離子體。電感耦合等離子體的電子繞磁力線運動，自由程比電容耦合機大，可以在較低的壓力下激發等離子體。等離子體密度可以比電容耦合等離子體的密度高兩個數量級左右，電離率可以達到1%～5%。等離子體的直流電勢和離子沖擊能量約為20-40V。與電容耦合等離子體相比，電感耦合等離子體的離子通量和離子能量可以更適當和獨立地控制。

3 靜態二次離子質譜（SSIMS） 靜態二次離子質譜（SSIMS）技術是1970年代發展起來的一種表面分析技術。用離子照射固體表面，從表面濺射出的二次離子被引入質譜儀。質量分離后，從檢測記錄系統獲取待分析表面元素和化合物的成分。由于離子束入射到固體表面的穿透深度比電子的穿透深度淺，因此二次離子法是一種有效的表面分析方法。

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等離子體的“活性”成分包括離子、電子、反應基團、激發核素（亞穩態）、光子等。等離子清洗劑利用這些活性成分的特性對樣品表面進行處理，等離子體質譜儀達到清洗、改性、光刻膠灰化等目的。 （北京真空等離子清洗機）等離子清洗機的清洗原理是等離子是物質存在的狀態，物質通常以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在特殊情況下是第四種。有一種狀態。 , 地球大氣的電離層物質等。