實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,拉拔式附著力實(shí)驗(yàn)大氣等離子體處理過程中考慮了時(shí)間、功率、氣體流量、氧含量、氦流量和噴嘴高度等參數(shù),導(dǎo)致膜的表面形貌變化明顯,化學(xué)結(jié)構(gòu)變化較小。腐蝕率厚度和溶出度隨時(shí)間逐漸增大,達(dá)到最大值后逐漸減小。當(dāng)氧含量比一定時(shí),腐蝕速率隨著氦/氧混合流量的增加而增加。隨著氦流量的增加,腐蝕先增大后減小。腐蝕速率隨功率的增大而增大,隨噴嘴間距的增大而減小。經(jīng)大氣等離子體處理后,織物表面的尺寸破碎,洗滌后樣品表面干凈。

拉拔式附著力實(shí)驗(yàn)

在引入 PLC 之前,拉拔式附著力實(shí)驗(yàn)所有等離子清洗機(jī)的控制系統(tǒng)主要基于繼電器控制。繼電器控制通常有兩種控制方式:按鈕控制和觸點(diǎn)控制。按鈕控制是指使用手動(dòng)控制器來控制電氣設(shè)備的電路。而觸點(diǎn)控制則使用繼電器進(jìn)行邏輯控制,其控制對(duì)象既包括電氣設(shè)備電路,也包括繼電器本身的線圈。繼電器控制是利用電氣元件中的機(jī)械觸點(diǎn)串聯(lián)和并聯(lián)形成邏輯控制電路。實(shí)驗(yàn)真空等離子清洗機(jī)由按鈕操作控制。

上述研究結(jié)果表明:在一定等離子體發(fā)生器條件下,膠帶拉拔式附著力檢測(cè)視頻為獲得較高的C2烴收率及合適的H2/CO比值,應(yīng)選擇較低CO2加入量。在本實(shí)驗(yàn)條件下,其值應(yīng)在20%~35%。C2烴分布隨著體系內(nèi)CO2濃度增加,C2H2的摩爾分?jǐn)?shù)隨之降低;而C2H6、C2H4的摩爾分?jǐn)?shù)則呈現(xiàn)不斷上升態(tài)勢(shì)。

擠壓材料 該設(shè)備將前座擠壓到裝卸轉(zhuǎn)移系統(tǒng)中。 (B)裝卸料傳動(dòng)系統(tǒng)通過壓輥和皮帶傳動(dòng)將物料輸送到換料通道的較高平臺(tái),膠帶拉拔式附著力檢測(cè)視頻并通過供料系統(tǒng)放置物料。 (C) 連接材料的通道被傳輸?shù)降入x子體反應(yīng)室的底部,真空室被關(guān)閉并通過改進(jìn)的系統(tǒng)泵送以進(jìn)行等離子體清潔。當(dāng)高臺(tái)移動(dòng)到清掃位置時(shí),低臺(tái)移動(dòng)到第二層收料的接收位置。高臺(tái)清洗后與低臺(tái)通訊,低臺(tái)等離子清洗,高臺(tái)返回接收位置。

膠帶拉拔式附著力檢測(cè)視頻

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等離子處理設(shè)備主要包括預(yù)真空室、刻蝕腔、供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)四部分。等離子處理設(shè)備的工作原理是化學(xué)過程和物理過程共同作用的結(jié)果。

(5)微波放電:微波放電是將微波能量轉(zhuǎn)化為氣體分子的內(nèi)能,使之激發(fā)、電離以發(fā)生等離子體的一種氣體放電形式。微波放電的電離度高,氣體具有更高的活化程度,因而能在更低溫度下獲得和維持具有更高能量的等離子體,更適合對(duì)溫度敏感材料如有機(jī)薄膜的處理,但設(shè)備造價(jià)較高。

在全球市場(chǎng)份額方面,2008年行業(yè)引入45nm節(jié)點(diǎn)后,單片晶圓清洗設(shè)備超越自動(dòng)清洗設(shè)備成為最主導(dǎo)的清洗設(shè)備。據(jù)ITRS稱,45nm工藝節(jié)點(diǎn)的量產(chǎn)始于2007年和2008年。此時(shí)松下、英特爾、IBM、三星等開始45nm量產(chǎn)。2008年底,中芯國際獲得了IBM的批量生產(chǎn)45納米工藝的許可,成為中國第一家轉(zhuǎn)向45納米工藝的半導(dǎo)體公司。

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