采用金徠等離子體技對(duì)ITO陽極進(jìn)行表面改性，可有效優(yōu)化其表面化學(xué)組成，大大降低方塊電阻，從而有效提高能量轉(zhuǎn)換效率，改善器件的光伏性能。
太陽能聚能鏡在生產(chǎn)過程中應(yīng)用到等離子清洗工藝的有：
1、玻璃基板等離子體清洗：
使用金徠等離子體技術(shù)，對(duì)材料表面進(jìn)行轟擊，可有效去除表面有機(jī)污染物、氧化污染物、微信顆粒，使工件表面親水性大大提高。清洗后的水滴夾角小于5度，為下道工序的進(jìn)行奠定良好基礎(chǔ)。
2、陽極表面等離子體改性：
采用金徠等離子體技對(duì)ITO陽極進(jìn)行表面改性，可有效優(yōu)化其表面化學(xué)組成，大大降低方塊電阻，從而有效提高能量轉(zhuǎn)換效率，改善器件的光伏性能。
3、涂保護(hù)膜前等離子體清洗處理：
硅片表面非常光亮，會(huì)反射掉大量的太陽光。因此，在其上沉積一層反射系數(shù)非常小的氮化硅保護(hù)膜是非常必要的。通過采用金徠等離子體技，可活化硅片表面，大大提高其表面附著力。
