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還有一種等離子清洗機是表面反應機制中物理反應和化學反應都起重要作用，表面附著力檢查國標即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進，離子轟擊使被清洗表面產生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態，容易吸收反應劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產生反應；其效果是既有較好的選擇性、清洗率、均勻性，又有較好的方向性。 典型的等離子體物理清洗工藝是氬氣等離子體清洗。

在等離子體中,粒子的溫度是不同的,與溫度相關的粒子運動速度的運動質量,現有的等離子體與鈦離子溫度,電子溫度的Te說,和中性粒子,如原子、分子或原子與Tn的溫度,對于Te大大高于Ti和Tn,也就是說,在低壓氣體,氣體的壓強是只有幾百帕斯卡,當使用直流電壓或高頻電壓電場,由于電子本身的質量量很小,容易加速電池,這樣高的平均可以達到幾個電子伏特能量,電子,這種能量的相應溫度是成千上萬度(K),和弟子由于大質量,很難被電場加速,所以溫度只有幾千度。

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低溫等離子體中的高能活性粒子與材料表面相互作用，如表面活化、接枝聚合等，改變了材料表面的形貌和化學組成。等離子體是電中性基團，但含有大量的活性粒子：電子、離子、激發分子原子、自由基、光子等，它們的能量范圍為1-10eV，這是紡織材料中有機分子結合能的能量范圍。因此，等離子體中的活性粒子會與紡織材料表面發生物理、化學相互作用，如解吸、濺射、激發、刻蝕等；交聯、氧化、聚合、接枝等化學反應。

在反應過程中，反應室內的氣體通過輝光放電形成含有離子、電子和自由基等活性物質的等離子體。這些物質由于具有擴散性而被吸附在介質表面，與介質表面的原子發生化學作用，反應產生揮發性物質。同時，更高能量的離子在一定壓力下物理沖擊和蝕刻介電表面，去除再沉積反應產物和聚合物。介質層的刻蝕是由等離子表面處理設備的物理和化學性能共同作用完成的。

目前，等離子體提高粘接性能的機理有:(1)等離子體使表面具有更高的活性和更高的表面能;(2)表面引入的極性基團可與粘接物形成化學鍵;(3)等離子體中高能電子轟擊，(4)等離子體處理可以去除表面的弱邊界層，避免粘接后形成力學性能較差的弱邊界層。

保證處理單元的高功率承載和高能量輸出。（2）低溫等離子體處理系統必須具有一定的放電處理功率。低溫等離子體設備通常需要2～5瓦時/立方米/小時。即0立方米/小時的風量需要2kW～5kW處理。如果每小時0立方米的風量只需要幾十、幾百瓦的電力，最多就是靜電（除塵）處理或局部處理。分解VOCs沒有一定的能量是不可能的。。普洱茶從散茶（毛）到茶餅（壓茶）的過程稱為壓茶。普洱茶壓成餅，一方面方便儲存，另一方面有利于后期轉化。

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等離子體處理的表面粗化與蝕刻作用：對應不同的材料采用相應的氣體組合形成具有強烈蝕刻性的氣相等離子體與材料表面的本體發生化學反應及物理沖擊，原子印油在橡膠表面附著力使材料本體表面的固態物質被氣化，生成如CO、CO2、H2O等氣體，從而達到微蝕刻的目的。主要特點：刻蝕均勻，不改變材料基體特性;能有效粗化材料表面，并能控制微蝕量。。

在其他情況下，表面附著力檢查國標當自由基與物體表面的分子結合時，會釋放出大量的結合能，進而成為引發新的表面反應的驅動力，從而觸發物體表面物質的化學反應并被移除。電子對物體表面的撞擊，一方面可以促進吸附在物體表面的氣體分子分解解吸；另一方面，大量的電子撞擊有利于引起化學反應。由于質量小，電子的運動速度比離子快得多。進行等離子體處理時，電子比離子更早到達物體表面，表面帶負電荷，有利于引發進一步反應。