+ O2 & RARR; O + O * + AR (1) AR * + O & RARR; O + AR (2) 高能電子與氧分子碰撞并分解形成激發(fā)氧原子 E + O2 & RARR O + O * + E (3) E + O2 & RARR; O + O + E (4) 被污染的潤滑油和硬脂酸的主要成分是碳氫化合物，潤滑脂附著力受哪些影響被活性氧氧化生成二氧化碳和水。

等離子體對潤滑脂結垢的影響與潤滑脂結垢的燃燒反應相似。但不同的是在低溫下發(fā)生的“燃燒”。在氧等離子體中氧自由基、激發(fā)態(tài)氧分子、電子和紫外線的共同作用下，潤滑脂附著力強油分子被氧化為水分子和二氧化碳分子并從表面去除。由此可見，利用等離子體去除石油污染的過程是一個大分子逐漸降解的過程，形成水、二氧化碳等小分子，這些小分子被排除在氣態(tài)之外。等離子體清洗的另一個特點是，清洗后的物體已徹底干燥。

PTFE材料在耐高溫、耐腐蝕、不粘連、自潤滑性能、優(yōu)異的介電性能、低摩擦系數(shù)等各方面都表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，潤滑脂附著力受哪些影響而未經(jīng)處理的PTFE材料表面活性低，一方面是粘結。金屬之間的相互作用非常困難，產(chǎn)品不能滿足質(zhì)量要求。為解決這一技術難題，需要在不影響另一面性能的情況下，嘗試改變PTFE（聚四氟乙烯）的表面性能和金屬鍵。工業(yè)上用硫酸鈉溶液處理可在一定程度上提高粘合效果??，但改變了原有聚四氟乙烯的性能。

由于熔合損失多發(fā)生在摩擦副的初期磨合過程中，潤滑脂附著力強而且往往破壞匹配件的走行面，使整個機組無法正常運行。因此，在所有的損失模式中，其帶來的損害結果尤為突出。在等離子體等離子體發(fā)生器的機械運動中，有兩種摩擦副因熔合而丟失的情況：1.在有潤滑油的情況下，缸套和活塞環(huán)在有潤滑油的情況下運轉。

潤滑脂附著力強

2.不直接供油和潤滑的往復式循環(huán)壓縮機的活塞桿不僅需要傳遞動力，而且要保持密封并在不直接供油的情況下運行，因此很容易熔合。損失。。

真空等離子清洗設備的真空泵選型不容忽視，但今天我們就為大家介紹一下真空清洗機中適合選型的油泵種類及其特點。清洗設備中常用的真空泵有兩種：油泵和干式真空泵。油式真空泵是用于真空等離子清洗設備的油封、潤滑和冷卻的真空泵的總稱。旋片式真空泵是一種油式真空泵，廣泛應用于真空等離子清洗設備中。

影響等離子體清洗效果的因素有很多，包括化學藥劑的選擇、工藝參數(shù)、功率、時間、部件放置和電極配置。不同的清洗目的所需要的設備結構，電極連接的品種不同，反應氣體也不同，其工藝原理也有很大的差別，有大量的物理反應，有大量的化學反應，兩者都有大量的作用，而物理化學反應取決于等離子體源的有效性、等離子體體系的組合以及等離子體過程的操作參數(shù)。

  用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，它的方向性不強，因此它可以深入物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務，所以不必過多考慮被清洗物體形狀的影響，而且對這些難清洗部位的清洗效果與用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。

潤滑脂附著力強

所以設計等離子清洗機的腔體首先必須是鋁，哪種潤滑脂附著力強而不是不銹鋼；放置晶圓的支架滑動部分應盡量采用不易產(chǎn)生灰塵和被等離子腐蝕的材料；電極和支架易于拆卸和維護。1-2：等離子清洗機反應室內(nèi)的電極間距、層數(shù)和氣路分布對晶圓加工的均勻性有很大影響，這些指標需要通過不斷的實驗進行優(yōu)化。1-3：等離子清洗晶圓的過程中，會有一定的熱量積累。需要將電極板的溫度保持在一定范圍內(nèi)，因此等離子清洗機的電極通常采用水冷。