腐蝕作用是各向異性的；缺點是對表面損傷大，粗糙度 附著力 表面能產生熱效應大，對清洗后表面的各種物質選擇性差，腐蝕速率低。基于化學反應的等離子體清洗的優點是清洗速度快、選擇性好、能有效去除有機污染物，缺點是表面會產生氧化物。與物理反應相比，化學反應的缺點不易克服。而且，兩種反應機理對表面微觀形貌的影響顯著不同，物理反應可以使表面在分子尺度上更加“粗糙”，從而改變表面的粘附特性。

..協同作用提高了表面的性能，附著力 單位 緩達到了表面處理的目的。 ..此外，等離子表面處理方法具有制造加工時間短、制造加工速度快、易于實際操作等優點?；鹧嫣幚硎怯靡欢ū壤幕旌衔稂c燃獨特的燈頭，使火焰與聚烯烴等物體直接接觸的處理方法。讓我們看看材料經過這種方式處理后的反應。等離子表面處理后，材料一般會發生兩種變化： 1.物理變化：材料表面與等離子體碰撞后，變得粗糙。當然，這種粗糙度是肉眼看不見的，通常有幾十納米深。

聚合物中聚合物的化學鍵被分離成小分子，粗糙度 附著力 表面能通過真空泵蒸發排出。同時，經過氬等離子清洗后，可以改變材料表面的微觀形貌，使材料處于更加“粗糙”的狀態。氬等離子體的優點是它可以清潔材料表面而不會留下氧化物。缺點是可能會在其他不希望的區域發生過度腐蝕或污染顆粒的重新積累，但可以通過微調工藝參數來控制這些缺點。 3. 物理和化學反應都起重要作用的清洗，清洗反應同時涉及物理和化學反應。

當基體表面有臟污或者表面能比較低時，附著力 單位 緩粘接的可靠性就得不到保證，會出現分層或開裂現象。借助等離子表面處理技術工藝可以清洗和活化基體表面，改善粘接性能，提高可靠性。等離子表面處理機不僅能應用在以上方面，在電子、半導體、汽車等領域都有應用，廣東金徠科技有限公司為電子、半導體、汽車、醫療等領域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案。。

附著力 單位 緩

塑料聚合物的非極性氫鍵取代了空氣或氧氣等離子體，為表面能提供了自由價電子和液體分子的結合，從而提高了非粘合塑料的良好粘合性和可噴涂性。除空氣和氧氣外，真空等離子體還可采用其它氣體，這些氣體能過濾氮、胺或羰基作為氧的活性基團。經過幾周和幾個月的處理，表面活性仍然很好。但后續加工要迅速進行，因為隨時長的增加，會過濾新的油污，丟掉活性。

的電容在耦合等離子體機的發展初期，只有一個射頻電源，射頻電源的變化會同時影響等離子體密度和離子轟擊能量，因此單頻電容耦合等離子體的可控性并不令人滿意。多頻電容耦合等離子體蝕刻機通過引入多頻外置電源來提高電容耦合等離子體蝕刻機的性能。對于多頻施加電場，高頻電場主要起著控制等離子體密度的作用，低頻電場主要起著控制離子表面能的作用。目前半導體行業主要的電容耦合等離子體蝕刻機是雙頻和多頻電容耦合等離子體蝕刻機。

等離子體處理通常分為兩種情況，一種是在真空環境下處理;優點是氣體過程可以控制，通過對清洗過程的精確控制，可以達到理想的清洗效果。還有一種是大氣等離子清洗機，通常組裝成在線等離子清洗機，加工強度大，能量高，溫度高，屬于較為廣泛的等離子清洗方式。

所需損耗； D. 如果需要對等離子設備進行維護，請在關閉等離子發生器后按照相應步驟進行操作； E.氣流的大小對清潔有很大的影響。在此過程中，等離子清洗必須保持一定的真空度（0.1-0.2TORR），才能產生輝光進行清洗。當真空度為0.1～0.2微米時，清洗（效果）是一樣的。真空度越低，相對亮度越強。清洗時，要隨時用真空泵抽出潔凈的污染物，隨時補充潔凈氣體。進氣和排氣必須處于動態平衡，以保持一定的真空度。

粗糙度 附著力 表面能

以下物質以等離子體狀態存在：快速運動的電子；中性原子、分子、激發（活性）狀態的自由基（自由基）；電離的原子和分子；未反應的分子、原子等，附著力 單位 緩但該物質整體保持電中性。在真空室內，通過高頻電源在恒壓下產生高能無序等離子體，對清洗后的產品表面照射等離子體進行清洗。等離子處理可以結合到導電、半導電和非導電應用中。等離子清潔表面的一種有效方法是去除雜質、污染物、殘留物和有機（有機）化合物。

FPC印刷/絲網印刷等工藝。由于粘合劑殘留在銅表面，附著力 單位 緩容易出現漏鍍、顏色不均等問題。您可以使用等離子清洗機去除殘留在表面上的任何粘合劑。