輝光放電在兩極電場的作用下，附著力最大的樹脂電子和正離子分別向陽極、陰極運動，并在此過程中堆積在兩極附近形成空間電荷區 。又因為正離子的漂移速度遠小于電子，所以正離子空間電荷區的電荷密度比電子空間電荷區要大得多，讓整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區域內。這也是輝光放電的顯著特征，而且在輝光正常放電時，兩極間電壓不會隨著電流的改變而發生變化。
等離子清洗機不單單會提生粘接劑的品質，附著力最大的樹脂還提供了在使用低成本用料的新技術可能性。通過等離子體表面處理，使用料外觀兼備新的性能，使普通用料兼備原有特殊材料的表面處理性能。其次等離子清洗機應用的清洗效應會讓表面活性劑不再是需要，既環保又節省了大量的的清洗干燥時間。。
由于等離子體中含有大量的自由電子、離子、半穩態粒子等高能粒子，附著力最大的樹脂這些粒子的能量是普通材料包括碳材料表面的普通化學鍵的結合。高于能量。 -能量粒子具有破壞碳材料表面舊化學鍵并形成新鍵的能力。這賦予了材料表面新的物理和化學性質。使用適當的工作條件改變碳材料，可以顯著改變碳材料表面的物理化學性質，從而提高碳材料對環境中某些污染物的吸附能力。
因為臭氧是由攜帶一個氧原子的氧分子組成的，附著力最大的樹脂是什么它只是一種暫時狀態，攜帶氧原子除了氧化作用外，其余的氧結合成一種穩定狀態，所以臭氧沒有二次污染。如果我們通過進入含有氧氣的氣體，那么在反應過程中就會產生少量的臭氧，因為臭氧的產生，所以我們在使用等離子清洗機的時候有時會聞到一股難聞的氣味所以等離子清潔器才這么臭。。物質有三種形態，固體、液體和氣體，等離子體是其中之一，被稱為第四態。
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除四氟化碳(CF4)外，氫(H2)、氮(N2)、氧(O2)、氬(Ar)等是等離子體清洗機常用的工作氣體。等離子體清洗過程中容易與金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料發生反應。其中，物理反應機理是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物從表面分離，最后通過真空泵吸走；其化學反應機理是各種活性顆粒與污染物反應生成揮發性物質，再通過真空泵將揮發性物質吸走，從而達到清洗的目的。。
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