由于獲得高能量并與周圍的分子和原子碰撞，等離子精魄兌換碼電子在分子和原子中被激發，處于激發態或離子態。這時，問題是等離子體狀態。等離子體中除了氣體分子、離子和電子外，還有被能量激發的電中性原子或原子團（也稱為自由基），以及等離子體發出的光。它在能量等離子體與物質表面的相互作用中起重要作用。氮氣作為惰性氣體，主要用作等離子清洗過程中的非反應性氣體。氮等離子處理可以提高材料的硬度和耐磨性。

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