它的機理是：在低壓下，上海高附著力樹脂廠家電話由ICP射頻電源向環狀耦合電磁線圈輸出，通過耦合電弧放電，混合刻蝕汽體通過耦合電弧放電，產生致密的等離子體，在下電極RF作用下，在基片表面躍遷，基片圖形區域內的半導體器件的離子鍵被打斷，與刻蝕汽體產生揮發性物質，將汽體從基片中分離出來，抽離真空管。同樣條件下，氧氣等離子體清理比氮氣等離子體清理效果更好。
真空離子吸塵器是將兩個電極真空形成電磁場，高附著力玻璃鋼油漆用真空泵實現的真空度,氣體越來越薄,分子之間的距離和自由流動的分子之間的距離或郭也越來越長,磁場效應,碰撞和等離子體形成,發光會發生同時,等離子體空間電磁場中的運動,和轟擊處理過的表面，去除表面油和表面氧化物，灰化表面有機物等化學物質，實現表面處理，清洗和蝕刻，選擇性表面改性通過等離子體處理過程。工作過程:真空等離子吸塵器由反應室、電源和真空泵組組成。
現在國內的等離子清洗機技術近年來已經越來越成熟，高附著力玻璃鋼油漆這也為進一步研究開發新的應用提供了足夠的空間，如隨著國內對等離子清洗機的需求越來越多，普通的等離子清洗機已經無法滿足生產的需要，所以在參考國外等離子清洗機設備并結合現代流水線的需要后，所以出現了在線等離子清洗機。在線等離子清洗機實際上是由多臺獨立的等離子清洗機組成，形成自動化的運行方式，配合流水線的使用，可以進行上下游生產流程。
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1、環保技術：等離子作用工藝為氣固相干反應，消耗水資源，不需添加化學品 2、效率高：整個過程可在短時間內完成 3、成本低：裝置簡單，操作維護方便，少量氣體代替昂貴的清洗液（等離子表面處理），無廢液處理費用 4. 更精細的處理：滲透到細孔和凹痕中，即可完成清洗工作。 5、適用性廣：等離子表面處理技術可以處理大多數固體。
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