通過改變等離子清洗機的等離子特性、腔側壁條件、宏觀蝕刻不均勻、蝕刻和聚合物沉積、微蝕刻不均勻、垂直和橫向蝕刻、圖案側壁保護、影響輸出結果的側翹和等離子損傷例如臨界尺寸。通過調整等離子體內部和晶圓表面上發生的化學和物理反應過程，橫向附著力和橫向摩阻力它可以調整對優化蝕刻結果很重要的等離子體特性。電子能量分布 (EED) 和離子能量分布 (IED) 因為電子和離子的能量分布極大地影響離子與晶片表面之間的反應速率。

清洗后，抱死后橫向附著力沒有有害污染物生態環境保護，這一備受關注的全球環境保護問題日益顯示出其重要性。。包裝缺陷主要包括鉛變形、基偏差、翹曲、切屑破裂、分層、空腔、包裝不均、毛刺、異物、不完全固化、鉛條變形鉛條變形通常是指鉛條因塑料密封膠的流動而產生的位移或變形，通常用鉛條的最大橫向位移x與長度L的比值x/L表示。引線彎曲會導致電氣短路(特別是在高密度I/O設備封裝中)。

由于正負極是交錯的，橫向附著力和橫向摩阻力因此，在同一幀內，正負極之間的橫向距離會減小，這樣在相同寬度的幀內，就可以安裝更多的正負極，提高等離子體產生效率，進而提高空氣凈化效果。主要要求:1。

所以羅茨真空泵是在轉子同步、反向旋轉的推動和壓力作用下，橫向附著力最大從進氣處吸入空氣，進入轉子與泵殼之間的空間，然后通過排氣管排出，從而達到真空。真空等離子清洗設備羅茨真空泵的分類:根據放置在泵體內的兩個轉子的位置，將泵分為三大類:兩根真空泵的轉子的軸線是橫向排列,但飛機由兩個轉子的軸線垂直于水平面,水平根真空泵:兩根真空泵的轉子的軸線是橫向排列,兩轉子和軸橫向排列。

抱死后橫向附著力

在相對較大的加熱區域，由于溫度升高，材料繼續熱膨脹，相鄰區域的冷材料必須限制膨脹，因此在加熱區域整體產生較大的壓縮應力的同時，由于溫度升高，材料的屈服應力()低，加熱區域的材料不僅產生壓縮塑性應變，而且加熱區域的材料不穩定板料背側彎曲變形的增加，進一步增加了壓縮塑性區。因此，此時板材背面材料的壓縮塑性應變值遠遠大于正面的壓縮塑性應變值，導致板材背面的橫向收縮大于正面的橫向收縮，反向彎曲變形大。

增加、減少材料屈服應力、加熱面積不僅材料產生壓塑性應變，而且受熱區材料的不穩定性增加了板材背面的彎曲變形，進一步增加了壓塑性區。因此，此時板材背面材料的壓縮塑性應變值遠大于正面的壓縮塑性應變值，板材背面的橫向收縮如下。比正面大，反向彎曲變形大。在冷卻過程中，隨著溫度的下降，板材的頂面和底面開始收縮，降低了底面的塑性應變，增加了頂面的塑性應變。

1、等離子發生器冷卻等離子發生器是等離子清洗機的核心部件，大型的等離子發生器在工作時會產生大量的熱量，為了確保等離子清洗機的正常運作和不被損壞，這時候就需要用到工藝冷卻水對等離子發生器進行冷卻降溫。2、干式真空泵冷卻干式真空泵在使用時機械之前會產生摩擦從而將溫度升高，為了不出螺桿抱死，導致報廢，所以需要要在干式真空泵在使用時進行工藝冷卻水降溫。

等離子清洗技術對產業經濟和人類文明影響最大，首推電子資訊工業，尤其是半導體業與光電工業。等離子清洗已應用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術，就沒有今日這么發達 的電子、資訊和通訊產業。此外，等離子清洗技術也應用在光學工業、機械與航天工業、高分子 工業、污染防治工業和量測工業上，而且是產品提升的關鍵技術。

抱死后橫向附著力

三、等離子加工的優點和作用(1)等離子處理后，抱死后橫向附著力被清洗物非常干燥，不需要再次干燥。 (2)不使用有害溶劑，不使用有害污染物。環保綠色清洗方法； (3)高頻范圍內的高頻產生的等離子體沒有方向性，可以穿透物體的微孔和凹痕，特別適用于清潔盲孔和微孔。電路板制造； （4）效率高，整個清洗過程幾分鐘即可完成； (5)等離子清洗最大的技術特點是可以處理各種基材。

超聲波等離子體的反應是物理反應，橫向附著力最大射頻等離子體的反應是物理反應和化學反應，微波等離子體的反應是化學反應。超聲波等離子體清洗對被清洗表面的影響最大，因此射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗在半導體生產應用中多使用。超聲波等離子體在表面脫膠和毛刺磨削方面效果最好。典型的等離子體物理清洗過程是用反應室中的氬氣作為輔助處理進行等離子體清洗。氬本身是惰性氣體，不與表面發生反應，而是通過離子轟擊來清除表面。