plasma所需的等離子體技術主要是在真空、放電等特殊場合產生的plasma所需的等離子體技術主要是在真空、放電等特殊場合產生的。低電壓氣體輝光法是一種依靠等離子體的有效成分進行反應。它的主要過程包括：先將需要清潔的工件送到真空系統固定，真空泵等設備逐漸將真空排出約10Pa的真空度；然后將等離子清洗氣體導入真空系統。根據清洗材料的不同，可選用不同的氣體，如氧、氫、氬、氮等。
在電子工業中屬于干式清洗，需要真空泵制造一定的真空條件以滿足清洗需求。讓我們看一下plasma的操作流程和注意事項。
（1）、低溫plasma運行時對電源的要求是：交流220V/380V頻率為50/60Hz，也有3/12.5kw，具體選擇哪種配置要根據需要來確定，啟動前應做好電源的接通和檢查工作，設備運行后應發出平滑的運行聲，而且一般有綠色指示燈常亮以顯示設備正常運行，如有黃色故障燈亮起，應停止運行進行檢修。
（2）、使用低溫plasma時，塑料制品和橡膠模具應特別注意紅色警示燈。當設備頻繁運行或抖動時，紅色警示燈總是亮著。此時，應立即按下復位鍵觀察設備。如果設備仍有異常，應立即停止設備運行，然后進行故障檢查，以避免設備損壞。
（3）、使用低溫plasma時，塑料制品和橡膠模具應定期清洗，清洗時必須先斷開電源，然后才能打開腔體和電控箱，并注意按照說明書要求的規范進行清洗。此外，許多低溫等離子清洗機的腔體都是外置環形電水平，不容易造成內腔污染。plasma所需的等離子體技術主要是在真空、放電等特殊場合產生的00224276