物質(zhì)表面改性技術(shù)主要采用濺射、離子注入、等離子化學(xué)熱處理等方法來(lái)制備低壓等離子體，無(wú)機(jī)固體物質(zhì)表面改性其中等離子噴涂、等離子淬火、多工滲透相變強(qiáng)化、等離子淬火、表面冶金等低溫等離子體，通常指壓縮電弧等離子束等離子束。二、等離子蝕刻機(jī)在IC芯片制造領(lǐng)域在集成電路芯片制造領(lǐng)域，等離子蝕刻機(jī)的處理技術(shù)已經(jīng)是一個(gè)不可替代的成熟過(guò)程。

研究了低溫等離子體裝置對(duì)絲狀織物各類性能參數(shù)的影響，物質(zhì)表面改性發(fā)現(xiàn)低溫等離子體處理后，織物的毛細(xì)效應(yīng)增大，著色率提高。。在低溫等離子體撞擊材料表面時(shí)有兩種不同的反應(yīng)，不僅會(huì)產(chǎn)生物理沖擊，而且會(huì)對(duì)材料表面產(chǎn)生化學(xué)腐蝕。物質(zhì)表面改性是通過(guò)切斷或激（活）材料表面的舊化學(xué)鍵來(lái)實(shí)現(xiàn)的，這種方法首先要求低溫等離子體中的各類粒子有足夠的能量來(lái)切斷材料表面的舊化學(xué)鍵。 除離子外，低溫等離子體的能量大多高于化學(xué)鍵。

物質(zhì)表面改性技術(shù)主要采用濺射、離子注入、等離子體化學(xué)熱處理等方法制備低壓等離子體，無(wú)機(jī)固體物質(zhì)表面改性材料其中等離子噴涂、等離子淬火、多級(jí)浸滲相變強(qiáng)化、等離子淬火、表面冶金等低溫等離子體通常指壓縮電弧等離子束等離子束。二、IC芯片制造領(lǐng)域的等離子刻蝕機(jī)在集成電路芯片制造領(lǐng)域，等離子刻蝕機(jī)的加工工藝已成為不可替代的成熟工藝。

產(chǎn)生的自由基、正負(fù)離子在電場(chǎng)的持續(xù)加速和高速運(yùn)動(dòng)碰撞下與材料表層發(fā)生碰撞，無(wú)機(jī)固體物質(zhì)表面改性材料破壞分子間原有的分子間鍵，使PI表層斷裂，物質(zhì)形成細(xì)小不規(guī)則，同時(shí)產(chǎn)生的氣體變成官能團(tuán)，繼續(xù)引起物質(zhì)表層的物理和化學(xué)變化。總的來(lái)說(shuō)，整個(gè)過(guò)程就是氣體不斷電離和不斷復(fù)合的過(guò)程，保證了整個(gè)反應(yīng)的不斷進(jìn)行，達(dá)到了粗化PI表層和改性PI表層的目的。

物質(zhì)表面改性

2、廢氣高效凈化該裝置可高效去除揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）、無(wú)機(jī)物、硫化氫、氨氣、硫醇等主要污染物及各種異味，除臭能力可達(dá)98%以上。可在24小時(shí)內(nèi)去除長(zhǎng)期擴(kuò)散和積累的惡臭，具有強(qiáng)力殺滅空氣中的細(xì)菌、病毒等各種微生物的能力，具有明顯的防霉效果。 .. 3、無(wú)需添加物質(zhì)的低溫等離子廢氣處理是干法精煉工藝，是一種全新的精煉工藝。操作過(guò)程無(wú)需添加任何添加劑，無(wú)廢水或廢渣。二次污染。

二、低溫等離子體處理器工作原理在一組電極上提供RF電源，電極之間形成高頻交變電場(chǎng)。在交變電場(chǎng)的激發(fā)下，蒸氣在該區(qū)域形成等離子體，對(duì)物體表面進(jìn)行物理轟擊，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使被清洗物體表面的物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)轭w粒狀物質(zhì)和氣態(tài)物質(zhì)，抽真空排出，達(dá)到表面處理的目的。三、低溫等離子體處理器的應(yīng)用選擇低溫等離子體處理器轟擊物體表面，可以達(dá)到在物體表面刻蝕和表面化的目的。可顯著增強(qiáng)這些表面的黏度和焊接強(qiáng)度。

從反應(yīng)機(jī)理來(lái)看，等離子清洗通常涉及以下幾個(gè)過(guò)程。一種氣相，其中無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)成等離子體狀態(tài)，氣相物質(zhì)吸附在固體表面，吸附的基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)形成產(chǎn)物分子，產(chǎn)物分子分解形成；反應(yīng)殘留物從表面脫落。 （高分子清洗設(shè)備加工高分子工藝）等離子清洗與傳統(tǒng)清洗方法相比具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。高能：等離子體是一種具有非凡化學(xué)活性的高能粒子，無(wú)需添加催化劑即可在溫和條件下實(shí)現(xiàn)。

5、低功耗、節(jié)能：低運(yùn)行成本、節(jié)能是專利“低溫等離子”的核心技術(shù)之一。處理0M3/h氣味時(shí)的耗電量?jī)H為0.25kw/h。該裝置無(wú)機(jī)械作用，自動(dòng)化程度高，工藝簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)單。簡(jiǎn)便。無(wú)需特殊管理，無(wú)需日常維護(hù)，無(wú)需自動(dòng)關(guān)機(jī)，發(fā)生故障時(shí)無(wú)需報(bào)警，只需定期檢查即可。 6、強(qiáng)大的設(shè)備組合：“冷等離子”產(chǎn)品重量輕，體積小，可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)要求垂直或水平放置，按濃度、流量和成分進(jìn)行串聯(lián)設(shè)計(jì)和組合。完成廢氣凈化。

無(wú)機(jī)固體物質(zhì)表面改性

② 外表粗化 等離子清洗機(jī)的外表粗化又稱外表刻蝕，無(wú)機(jī)固體物質(zhì)表面改性其意圖是提高材料外表的粗糙度，以添加粘接、印刷、焊接等工藝結(jié)合力，經(jīng)氬等離子清洗機(jī)處理后的外表張力會(huì)顯著提高。活性氣體所發(fā)生的等離子體也能夠添加外表的粗糙度，但氬氣電離后發(fā)生的粒子相對(duì)較重，氬離子在電場(chǎng)的作用下的動(dòng)能會(huì)顯著高于活性氣體，所以其粗化作用會(huì)愈加顯著，在無(wú)機(jī)物基材外表粗化工藝中運(yùn)用Z為廣泛。如玻璃基材外表處理、金屬基材外表處理等。

當(dāng)電子和原子發(fā)生非彈性碰撞時(shí)，無(wú)機(jī)固體物質(zhì)表面改性材料電子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換為原子內(nèi)能的效率就較高，理想時(shí)可實(shí)現(xiàn)能量的全部轉(zhuǎn)換；而當(dāng)離子和原子發(fā)生非彈性碰撞時(shí)，轉(zhuǎn)換能量就比較低，zui高僅能轉(zhuǎn)換一半能量。。通常情況下，對(duì)無(wú)機(jī)粉體材料進(jìn)行表面處理的目的主要是yi制其團(tuán)聚，增加無(wú)機(jī)粉體在聚合物當(dāng)中的分散性和相容性。從而使其跟聚合物形成復(fù)合材料具有更佳的力、光、電學(xué)等方面的性能。