物質(zhì)表面改性技術(shù)主要采用濺射、離子注入、等離子化學(xué)熱處理等方法來制備低壓等離子體，無機(jī)固體物質(zhì)表面改性其中等離子噴涂、等離子淬火、多工滲透相變強化、等離子淬火、表面冶金等低溫等離子體，通常指壓縮電弧等離子束等離子束。二、等離子蝕刻機(jī)在IC芯片制造領(lǐng)域在集成電路芯片制造領(lǐng)域，等離子蝕刻機(jī)的處理技術(shù)已經(jīng)是一個不可替代的成熟過程。

研究了低溫等離子體裝置對絲狀織物各類性能參數(shù)的影響，物質(zhì)表面改性發(fā)現(xiàn)低溫等離子體處理后，織物的毛細(xì)效應(yīng)增大，著色率提高。。在低溫等離子體撞擊材料表面時有兩種不同的反應(yīng)，不僅會產(chǎn)生物理沖擊，而且會對材料表面產(chǎn)生化學(xué)腐蝕。物質(zhì)表面改性是通過切斷或激（活）材料表面的舊化學(xué)鍵來實現(xiàn)的，這種方法首先要求低溫等離子體中的各類粒子有足夠的能量來切斷材料表面的舊化學(xué)鍵。 除離子外，低溫等離子體的能量大多高于化學(xué)鍵。

物質(zhì)表面改性技術(shù)主要采用濺射、離子注入、等離子體化學(xué)熱處理等方法制備低壓等離子體，無機(jī)固體物質(zhì)表面改性材料其中等離子噴涂、等離子淬火、多級浸滲相變強化、等離子淬火、表面冶金等低溫等離子體通常指壓縮電弧等離子束等離子束。二、IC芯片制造領(lǐng)域的等離子刻蝕機(jī)在集成電路芯片制造領(lǐng)域，等離子刻蝕機(jī)的加工工藝已成為不可替代的成熟工藝。

產(chǎn)生的自由基、正負(fù)離子在電場的持續(xù)加速和高速運動碰撞下與材料表層發(fā)生碰撞，無機(jī)固體物質(zhì)表面改性材料破壞分子間原有的分子間鍵，使PI表層斷裂，物質(zhì)形成細(xì)小不規(guī)則，同時產(chǎn)生的氣體變成官能團(tuán)，繼續(xù)引起物質(zhì)表層的物理和化學(xué)變化。總的來說，整個過程就是氣體不斷電離和不斷復(fù)合的過程，保證了整個反應(yīng)的不斷進(jìn)行，達(dá)到了粗化PI表層和改性PI表層的目的。

物質(zhì)表面改性

2、廢氣高效凈化該裝置可高效去除揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）、無機(jī)物、硫化氫、氨氣、硫醇等主要污染物及各種異味，除臭能力可達(dá)98%以上。可在24小時內(nèi)去除長期擴(kuò)散和積累的惡臭，具有強力殺滅空氣中的細(xì)菌、病毒等各種微生物的能力，具有明顯的防霉效果。 .. 3、無需添加物質(zhì)的低溫等離子廢氣處理是干法精煉工藝，是一種全新的精煉工藝。操作過程無需添加任何添加劑，無廢水或廢渣。二次污染。

二、低溫等離子體處理器工作原理在一組電極上提供RF電源，電極之間形成高頻交變電場。在交變電場的激發(fā)下，蒸氣在該區(qū)域形成等離子體，對物體表面進(jìn)行物理轟擊，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使被清洗物體表面的物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)轭w粒狀物質(zhì)和氣態(tài)物質(zhì)，抽真空排出，達(dá)到表面處理的目的。三、低溫等離子體處理器的應(yīng)用選擇低溫等離子體處理器轟擊物體表面，可以達(dá)到在物體表面刻蝕和表面化的目的。可顯著增強這些表面的黏度和焊接強度。

從反應(yīng)機(jī)理來看，等離子清洗通常涉及以下幾個過程。一種氣相，其中無機(jī)氣體被激發(fā)成等離子體狀態(tài)，氣相物質(zhì)吸附在固體表面，吸附的基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)形成產(chǎn)物分子，產(chǎn)物分子分解形成；反應(yīng)殘留物從表面脫落。 （高分子清洗設(shè)備加工高分子工藝）等離子清洗與傳統(tǒng)清洗方法相比具有獨特的優(yōu)勢。高能：等離子體是一種具有非凡化學(xué)活性的高能粒子，無需添加催化劑即可在溫和條件下實現(xiàn)。

5、低功耗、節(jié)能：低運行成本、節(jié)能是專利“低溫等離子”的核心技術(shù)之一。處理0M3/h氣味時的耗電量僅為0.25kw/h。該裝置無機(jī)械作用，自動化程度高，工藝簡單，操作簡單。簡便。無需特殊管理，無需日常維護(hù)，無需自動關(guān)機(jī)，發(fā)生故障時無需報警，只需定期檢查即可。 6、強大的設(shè)備組合：“冷等離子”產(chǎn)品重量輕，體積小，可根據(jù)現(xiàn)場要求垂直或水平放置，按濃度、流量和成分進(jìn)行串聯(lián)設(shè)計和組合。完成廢氣凈化。

無機(jī)固體物質(zhì)表面改性

② 外表粗化 等離子清洗機(jī)的外表粗化又稱外表刻蝕，無機(jī)固體物質(zhì)表面改性其意圖是提高材料外表的粗糙度，以添加粘接、印刷、焊接等工藝結(jié)合力，經(jīng)氬等離子清洗機(jī)處理后的外表張力會顯著提高。活性氣體所發(fā)生的等離子體也能夠添加外表的粗糙度，但氬氣電離后發(fā)生的粒子相對較重，氬離子在電場的作用下的動能會顯著高于活性氣體，所以其粗化作用會愈加顯著，在無機(jī)物基材外表粗化工藝中運用Z為廣泛。如玻璃基材外表處理、金屬基材外表處理等。

當(dāng)電子和原子發(fā)生非彈性碰撞時，無機(jī)固體物質(zhì)表面改性材料電子的動能轉(zhuǎn)換為原子內(nèi)能的效率就較高，理想時可實現(xiàn)能量的全部轉(zhuǎn)換；而當(dāng)離子和原子發(fā)生非彈性碰撞時，轉(zhuǎn)換能量就比較低，zui高僅能轉(zhuǎn)換一半能量。。通常情況下，對無機(jī)粉體材料進(jìn)行表面處理的目的主要是yi制其團(tuán)聚，增加無機(jī)粉體在聚合物當(dāng)中的分散性和相容性。從而使其跟聚合物形成復(fù)合材料具有更佳的力、光、電學(xué)等方面的性能。