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三、等離子處理的優點及作用(1)經過等離子處理以后,寧德等離子清洗機裝置分子泵哪里有賣被清洗物體已經很干燥,不必再經干燥處理;(2)不使用有害溶劑,不會產生有害污染物,屬于有利于環保的綠色清洗方法;(3)用無線電波范圍的高頻產生的等離子體方向性不強,可以深入物體的微細孔眼和凹陷內,特別適合用于線路板生產中盲孔以及微小孔的清洗;(4)整個清洗工藝流程在幾分鐘內即可完成,具有效率高的特點;(5)等離子清洗的最大技術特點是:它不分處理對象,可處理不同的基材;如金屬、半導體、氧化物以及高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、據四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物)等都可用等離子處理;(6)在使用等離子清洗時,去污的同時,還能改變材料本身的表面性能,如提高表面的潤濕性能,改善膜的附著力等。
等離子體中含有大量光子、電子、離子、自由基、特定原子的激發態、原子和特定分子的激發態分子等,寧德等離子清洗機服務商為化學反應提供高活性的特定粒子,導致許多通常無法產生或需要極其苛刻條件的化學反應,變得易于在近室溫下進行,為實現化學反應提供了新途徑。對于多晶硅化工而言,從能耗控制、效率提升等方面考慮加氫、氣相沉積等工藝,利用等離子體促進反應過程具有重要的實用價值和科研價值。
工作壓強是等離子清洗的重要參數之一,寧德等離子清洗機服務商壓強的提高意味著等離子體密度的增加和粒子,平均能量的降低,對化學反應為主導的等離子體,密度的增強能顯著提高等離子系統的,清洗速度,而物理轟擊主導的等離子清洗系統則效果并不明顯。此外,壓強的改變可能會引起等離子體清洗反應機理的變化。如硅片刻蝕工藝所采用的CF4/O2等離子體,當壓強較低時離子轟擊起主導作用,而隨著壓強的增加,化學刻蝕不斷加強并逐漸占據主導作用。
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