絕緣子在放電過(guò)程中起著非常重要的作用，耐指紋板附著力不良使放電均勻分布在整個(gè)放電空間中，形成穩(wěn)定均勻的大氣等離子體。同時(shí)，由于絕緣材料的存在，放電過(guò)程中形成的壁面電荷有效地限制了放電電流的無(wú)限增長(zhǎng)，避免了高壓下的電弧放電和火花放電。由等離子體發(fā)生器的稀有氣體形成的DBD等離子體不含反應(yīng)粒子。

單極電暈有正電暈和負(fù)電暈，耐指紋板附著力不良這兩種電暈是由電暈起始電極的極性決定的。正極電暈和負(fù)極電暈放電機(jī)理不同，空間電荷分布有利于正極電暈，因此負(fù)極電暈擊穿電壓高于正極電暈。當(dāng)兩個(gè)電極曲率半徑很小時(shí)，形成雙極電暈。正電暈和負(fù)電暈同時(shí)存在，通過(guò)層外區(qū)的電流動(dòng)是雙向的，由正負(fù)電荷粒子組成。在相同條件下，雙極電暈的初始電暈電壓低于單極電暈。電暈放電的機(jī)理不同于等離子體表面清潔器。

　　一、真空等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品或資料的反響機(jī)制　　真空等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品是在低壓反響腔室里面進(jìn)行的，耐指紋板附著力不良基本操作流程把需要處理的物件放在托架或許是電極上面，關(guān)上反響腔體室的門;然后抽真空至設(shè)定的背底真空值，通入相應(yīng)的工藝氣體并保持真空度在20- Pa規(guī)模;接下來(lái)啟動(dòng)電源構(gòu)成等離子體與產(chǎn)品或資料進(jìn)行物理或化學(xué)反響，包含等離子清洗、等離子活化、等離子刻蝕和等離子聚合等;等整個(gè)反響完成后，通入壓縮空氣或氮?dú)?，進(jìn)行破空，取出物件。

等離子體和固體、液體或氣體一樣，耐指紋板附著力不良是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫物質(zhì)的第四態(tài)。施加足夠的能量使氣體電離，就變成了等離子體狀態(tài)。血漿&rdquo；活動(dòng)&rdquo；成分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，等離子體表面處理就是利用這些活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，達(dá)到光刻膠清洗、改性、灰化等目的。真空等離子體表面處理機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)部分，即控制單元、真空室和真空泵。

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這是三個(gè)狀態(tài)中最有活力的狀態(tài)。氣態(tài)物質(zhì)吸收更多的能量并產(chǎn)生等離子體，這是物質(zhì)的第四種狀態(tài)。等離子體是電中性的，由電子、離子、光子和中性粒子組成。電子和陽(yáng)離子的數(shù)量基本相同，但等離子體不是一種穩(wěn)定的物質(zhì)狀態(tài)。當(dāng)電離能耗盡時(shí)，各種粒子重新組合形成。原始的氣態(tài)分子。冷等離子體具有種類繁多的活性粒子，它們比正?；瘜W(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的活性粒子更加活躍和多樣化。這些活性粒子經(jīng)常被使用，因?yàn)樗鼈內(nèi)菀着c材料表面發(fā)生反應(yīng)。清潔或修改表面。

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