等離子處理器由等離子發生器等管路、等離子噴涂部件組成，等離子體的外觀為氣態它通過激活和控制等離子體產生高電壓、高頻能量的低溫輝光放電，噴嘴向表面通過壓縮空氣進行等離子噴涂，當等離子體與處理過的表面接觸時，產生物體變化和化學反應。
從化學反應公式來看，等離子體的外觀為氣態典型的PE工藝是氧或氫等離子體工藝，氧等離子體通過化學反應，可以使不易揮發的有機(機械)材料轉化為易揮發的CO2和水蒸氣，去除污垢，氫等離子體可以通過化學反應去除金屬表面的氧化層，清潔金屬表面。反應氣體電離產生的高活性反應顆粒在一定條件下與待清洗物體表面發生反應。反應產物是揮發性的，可以被去除。鑒于要清洗(去除)物體的化學成分，選擇合適的反應氣體成分是非常重要的。
更困難的是認識到環境不可能被無限期地污染，電感耦合等離子體質譜法缺點所以廢物，特別是那些對環境有害的廢物，應該盡可能少地產生，最好是根本不產生。法律越來越重視這一點，頒布了越來越嚴格的法規來防止廢物的產生。等離子體處理技術等離子體是一種物質被(部分)電離的物理狀態，熒光燈在日常生活中使用得很好。不太為人所知的是，當這些發光氣體粒子暴露在等離子體中時，也會引發表面的化學反應。
因此，電感耦合等離子體質譜法缺點電場直接將動能傳遞給反應室內的氣體分子，并產生具有足夠動能的電子與氣體分子進行非彈性碰撞，將電子的動能幾乎全部傳遞給參與反應的氣體分子。電暈等離子體處理器使氣體在反應室產生大量的光子,電子、離子、自由基和活性原子激發態原子和積極分子提供極其活躍的粒子的化學變化,所以,許多化學變化條件變得溫和,提高化學變化的效率。在自然界中，物質以固態、液態和氣態存在。
電感耦合等離子體質譜法缺點
這三種狀態是根據物質中所含的能量來區分的。氣態是物質三種狀態中能量最高的狀態。給氣體物質增加更多的能量，例如加熱它，就會形成等離子體。當它達到等離子態時，氣體分子分裂成許多許多高度活躍的粒子。這些分裂不是永久的;一旦用來形成等離子體的能量耗盡，各種粒子就會重新組合，形成原始的氣體分子。
而成為提高產品成品率和可靠性的重要工藝措施，在規模化生產過程中，將是未來不可缺少的。。等離子體是一種氣態物質，含有原子、分子和離子全部或部分處于亞穩態和激發態的離子，電子、正離子和負離子的含量大致相同。具有較高的物質能量，容易與其他物質產生物理、化學和生理反應。等離子體工藝，特別是低溫等離子體工藝，在聚合物表面改性方面非常活躍。
用真空等離子體吸塵器產生的輝光放電處理含硅聚合物的表面疏水性。PMMA通過真空等離子清洗機與聚硅氧烷結合進行表面處理，可以降低PMMA的表面碳含量，增加PMMA的含氧量，提高其保水性能。由硅橡膠制成的隱形眼鏡被稱為隱形眼鏡。硅橡膠具有透氣性好，質地柔軟，機械彈性好，經久耐用的特點。其缺點是粘度太大，疏水，液體容易滲透。
國產系列等離子清洗機就是在國外等離子清洗機價格昂貴、推廣困難的缺點的基礎上，吸收國內外現有的優點，結合國內用戶的使用需求，運用科技手段研制出新型系列等離子清洗機。一般來說，國內配置的等離子清洗機已經能夠達到某些工件加工要求的性能。如果要求比較高，比如產品工件本身的成本非常昂貴，或者產品工件本身對質量要求非常高，可以選擇配置進口等離子設備。
電感耦合等離子體質譜法缺點
生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，等離子體的外觀為氣態以適應微生物的生長。低溫等離子體技術較好地克服了上述技術的缺點，反應條件在常溫常壓下，反應器結構簡單，且可以同時消除混合污染物(有些情況下還具有協同作用)，不會產生二次污染。
