首先是等離子體與物體表面的碰撞，油漆附著力檢查視頻教程這種碰撞的物理反應(yīng)。不得不說，等離子體與物體表面之間會(huì)發(fā)生各種化學(xué)反應(yīng)。各種等離子清洗的主要反應(yīng)不同，不受氣體刺激。成分、使用的氣體、激發(fā)頻率和清潔過程中的主要反應(yīng)非常重要。目前，半導(dǎo)體封裝主要使用氬氣、氧氣和氫氣等氣體。恒定比例的氬氫混合物也可以用作激發(fā)氣體來清潔晶圓、引線框架和基板的表面，以去除要清潔的物體。
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等離子體清洗機(jī)常見主機(jī)電源為13.56kHz頻率發(fā)射主機(jī)電源，油漆附著力檢查視頻教程可產(chǎn)生高等離子體密度、軟能量、低溫，通常功率1～2千瓦，大功率5千瓦，小功率幾百瓦，多功率40千瓦，小功率幾百千瓦，多功率40KHz，中頻40KHz，中頻等離子清洗機(jī)主機(jī)電源，大功率5千瓦，低功率幾百KHz，多功率40KHz，中頻40KHz，能量軟，溫度低。通常功率1～2千瓦，大功率5千瓦，小功率幾百千瓦，小功率幾百千赫，多為40千赫。
(2)從激發(fā)頻率來看，油漆附著力檢查視頻教程可將其分為激發(fā)頻率為40kHz的等離子體、激發(fā)頻率為13.56MHz的射頻等離子體以及激發(fā)頻率為2.45GHz的微波等離子體，實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中多數(shù)采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。(3)從反應(yīng)氣體種類看，可將其分為反應(yīng)性氣體被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體(如O2、H2等)和惰性氣體被激發(fā)所產(chǎn)生的等離子體(如Ar、N2等)。前者是化學(xué)清洗手段，后者是物理清洗手段。
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電源將被激活，射頻電源將被用來激發(fā)反應(yīng)室中的氣體。在預(yù)先設(shè)定的時(shí)間內(nèi)，等離子體將在反應(yīng)室中加工產(chǎn)品。當(dāng)產(chǎn)品經(jīng)過等離子體處理后，反應(yīng)室內(nèi)的射頻電源將停止。作業(yè)煤氣也將被切斷。真空斷路器的截止閥將被打開，以凈化反應(yīng)室。真空管將被關(guān)閉，使先前被阻塞的氣體返回反應(yīng)室并恢復(fù)到大氣壓力。操作員打開反應(yīng)室的門。處理過的產(chǎn)品可以從真空室中取出，整個(gè)過程結(jié)束。
等離子體系統(tǒng)可以以各種形式集成，如模塊化系統(tǒng)。下面你可以看到飛秒管等離子體系統(tǒng)最常用的選擇。
常見的等離子清洗機(jī)通常有兩種，一種是低壓真空等離子表面處理設(shè)備，一種是常壓大氣等離子表面處理設(shè)備，分別為真空等離子清洗機(jī)和常壓等離子表面處理設(shè)備。
原子團(tuán)等自由基與物體表面的反應(yīng) 由于這些自由基呈電重型，存在壽命較長，而 且在等離子體中的數(shù)量多于離子，因此自由基在等 離子體中發(fā)揮著重要作用。
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