主要的電氣控制部分包括：真空泵，蟲(chóng)膠色漆附著力射頻電源，真空計(jì)，計(jì)時(shí)器，浮子流量計(jì)，綠色電源指示燈，蜂鳴器，功率調(diào)節(jié)器，放空按鈕(自鎖)，氣體一按鈕(自鎖)，氣體二按鈕(自鎖)，高頻電源按鈕(自鎖)，真空泵按鈕(自鎖)，總電源旋鈕開(kāi)關(guān)。。等離子體發(fā)生器可以使操作人員遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害:絕大部分的真空泵低溫等離子體發(fā)生器設(shè)施都選用真空泵吸干，抽氣油泵腔。一些應(yīng)用是獨(dú)立的，另一些是組合的。
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現(xiàn)在，蟲(chóng)膠色漆附著力器材出產(chǎn)中的簡(jiǎn)直每道工序都有清洗這一步驟，其意圖是去除芯片外表沾污、雜質(zhì)，現(xiàn)廣泛運(yùn)用的物理化學(xué)清洗辦法大致可分紅濕法清洗和干法清洗兩類，尤其是干法清洗開(kāi)展很快，其間的等離子體清洗優(yōu)勢(shì)顯著，在半導(dǎo)體器材及光電子元器材封裝范疇中獲得推廣運(yùn)用。
真空等離子清洗機(jī)沒(méi)有那么復(fù)雜，蟲(chóng)膠色漆附著力差怎么回事按工頻分，是40KHz和13.56mhz例:一般情況下，物料放入型腔內(nèi)工作，頻率為40KHz，一般溫度為65℃;此外，機(jī)器內(nèi)部有較強(qiáng)的空氣冷卻器。如果加工時(shí)間不長(zhǎng)，材料的表面溫度就會(huì)與室溫一致。13.56MHz的頻率會(huì)更低，通常為30℃;所以加工一些熱易變形的材料，低溫真空等離子清洗機(jī)是最合適的。
單晶圓清洗設(shè)備一般是指使用旋轉(zhuǎn)噴淋對(duì)單晶圓進(jìn)行化學(xué)噴淋清洗的設(shè)備。與自動(dòng)化清洗站相比，蟲(chóng)膠色漆附著力差怎么回事清洗效率較低，生產(chǎn)能力較低，但對(duì)工藝環(huán)境的控制能力要高得多。并去除顆粒。自動(dòng)化工作站，也稱為罐式自動(dòng)清洗機(jī)，是指在化學(xué)浴中同時(shí)清洗多個(gè)晶圓的設(shè)備。以目前的（頂級(jí)）技術(shù)，很難滿足整個(gè)工藝的參數(shù)要求。此外，由于同時(shí)清洗多個(gè)晶圓，自動(dòng)化清洗站無(wú)法避免相互污染的弊端。
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本系統(tǒng)的設(shè)計(jì)緊湊，使用方便。印刷電路板采用易于裝載的手推車進(jìn)行垂直裝載，以優(yōu)化空閑時(shí)間和提高生產(chǎn)力。快速真空泵下降，低耗氣量和加工循環(huán)時(shí)間進(jìn)一步提高了系統(tǒng)的生產(chǎn)效率。設(shè)有觸摸屏操作界面，提供多種控制功能和數(shù)據(jù)采集功能。在電路板制造過(guò)程中，真空等離子清洗機(jī)系統(tǒng)可以容納較大的面板尺寸，尺寸較小時(shí)可進(jìn)行去污、回蝕和著陸墊清洗操作。等離子處理系統(tǒng)主要用于HDI、柔性和剛性電路板的清洗和蝕刻加工。
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