低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體。低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反應所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反應，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。

低溫等離子清洗機應用：

等離子清洗 – 等離子刻蝕 – 等離子去膠 – 等離子活化

金屬表面去油及清洗金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。

等離子處理作用原理：

灰化表面有機層－表面會受到物理轟擊和化學處理

－在真空和瞬時高溫狀態下，污染物部分蒸發

－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空泵抽出

－紫外輻射破壞污染物 因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度，所以污染層不能太厚，指紋也適用。

氧化物去除

金屬氧化物會與處理氣體發生化學反應

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合氣體。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面，第二步用氫氣和氬氣的混合氣體去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。（深圳市金徠技術有限公司）