而控制單元又分為兩個(gè)大的部分：1）電源部分：主要電源頻率有三種，江蘇真空等離子體處理機(jī)報(bào)價(jià)分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的。2）系統(tǒng)控制單元：分三種，按鈕控制（半自動(dòng)、全自動(dòng)）、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。 2.真空腔體真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的：1）不銹鋼真空腔體。2）石英腔體。 3.真空泵真空泵分為兩種： 1）干泵。 2）油泵。
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等離子清洗機(jī)清洗分類 1、反應(yīng)類型分類等離子與固體表面的反應(yīng)可分為物理反應(yīng)（離子沖擊）和化學(xué)反應(yīng)。物理反應(yīng)機(jī)理是活性顆粒與被清洗表面碰撞，江蘇真空等離子表面處理機(jī)原理污染物從表面分離出來(lái)，最后被真空泵吸走。化學(xué)反應(yīng)機(jī)理是各種活性粒子與污染物反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)物。物質(zhì)和揮發(fā)性物質(zhì)被真空泵吸走。
例如，江蘇真空等離子表面處理機(jī)原理慵懶氣體Ar2、N2 等被激起發(fā)生的等離子體首要用于物理清洗，憑借炮擊效果使資料外表清潔；而反響性氣體O2、H2 等被激起發(fā)生的等離子體則首要用于化學(xué)清洗，憑借活潑自由基與污染物（多為碳?xì)浠衔铮┌l(fā)生化學(xué)反響，發(fā)生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，從資料外表移除。 （3）等離子體清洗類型對(duì)清洗效果具有必定的影響。
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不聚合氣體包括反性氣體和非反性氣體，等離子發(fā)生器電源開(kāi)關(guān)選取不同的氣體分類法對(duì)大分子表面效應(yīng)的作用機(jī)制也不同。 等離子體表面處理儀電源開(kāi)關(guān)等離子體誘導(dǎo)聚合是指在輝光放電條件下，活化顆粒(分子)誘導(dǎo)的聚合，表觀上發(fā)生自由基，然后與單體結(jié)合的聚合方式，如分子鏈發(fā)生交聯(lián)或側(cè)鏈上接枝，官能團(tuán)置換和嵌段聚合等。采用等離子體誘導(dǎo)聚合作用形成高聚物，單體必須包含聚合能量的結(jié)構(gòu)，如雙鍵、三鍵或環(huán)鍵等。
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