等離子清洗機對玻璃表面的清洗, 除了機械作用外, 更主要是活性氧的化學作用, 等離子中激發態的Ar*, 使氧分子激發為激發態氧原子高能量電子撞擊氧分子使其分解, 形成激發態氧原子沾污的潤滑油與硬脂酸主要成分為碳氫化合物, 這些碳氫化合物為活性氧所氧化, 生成二氧化碳和水從而將油脂從玻璃表面上除去。
潤滑油和硬脂酸是手機玻璃表面板最常見的沾污物質, 污染后玻璃表面對水的接觸角增加, 影響到離子交換。傳統的清洗方法工藝復雜且有污染。 手機面板等離子清洗機, 結構簡單, 不需要抽真空, 室溫下即可進行清洗, 所產生的激發態的氧原子比一般氧原子更具有活性, 可將污染的潤滑油和硬脂酸中的碳氫化合物進行氧化, 生成二氧化碳和水。等離子體射流同時還具有機械沖擊力, 起到了刷洗作用, 使玻璃表面污染物迅速脫離玻璃表面, 達到高效清洗的目的。
玻璃手機面板在化學鋼化前的清洗過程是很復雜的。通過針狀電極預電離產生的非平衡Ar/O2大氣壓等離子射流用作清洗過程是簡便的。用接觸角儀測定了玻璃面板沾污潤滑油和硬脂酸對水的接觸角。在等離子體射流清洗一段時間后對水的接觸角顯著地降低。掃描電鏡的觀察也驗證了清洗的效果。
近年來國際上名牌手機均以玻璃為面板, 為了提高玻璃面板的強度和硬度, 通常采用化學鋼化, 而在化學鋼化前需要進行清洗, 如果清洗不良, 則影響增強效果。傳統的清洗方法是先用洗滌劑刷洗, 再用酸液、堿液與有機溶劑超聲波清洗, 工序復雜, 費時費工, 且造成污染。 低溫等離子體空間富集的離子、電子、激發態原子、分子及自由基均為活性粒子, 易于和材料表面發生反應因而在滅菌表面改性薄膜沉積刻蝕加工器件清洗等領域得到廣泛應用。
