高能電子衍射(RHEED)分析表明，劃格法 測附著力等離子體處理的SiC表面比傳統濕法處理的SiC表面更平坦，表面出現(1×1)結構。等離子體清洗機等離子體氫處理可有效去除表面碳污染，暴露在空氣中30分鐘后發現，等離子體處理后的SiC表面氧含量明顯低于傳統濕法清洗的表面，等離子體處理后的表面抗氧化性明顯提高，為制造歐姆接觸、低界面態的MOS器件奠定了良好基礎。。
整個清洗過程可在幾分鐘內完成，漆膜附著力劃格法 判定因此具有收率高的特點；等離子體清洗需要控制真空度在Pa左右，這種清洗條件很容易達到。
1.拆下排氣閥座蓋，劃格法 測附著力折疊強力蓋螺絲取下蓋，注意不要損壞密封圈。 2.拆卸平板電腦的排氣閥壓板。 3. 拆下排氣閥。拆卸真空等離子表面處理機的真空泵轉子。 1.拆下轉子固定螺釘。 2.取下小螺帽，同時檢查小螺帽是否磨損。 3. 拆卸二級轉子。檢查缸腔和二級旋片是否磨損，檢查油路是否堵塞。拆下真空等離子表面處理機真空泵的止回閥。 1.拆下真空泵進氣口的固定螺絲，取出進氣口，注意不要損壞密封圈。
等離子體技術應用的優點（傳統的工藝相比較）： 1 不會改變基體固有性能，劃格法 測附著力改性作用僅僅發生在表面，約幾到幾十個納(米)。如半導體納(米)蝕刻。 2 全程干燥的處理方式（干式法） ，無需溶解劑和水，幾乎不產生污染，因而節約能源，降(低)成本。 3 作用時間短，反應速率高，加工對象廣，能顯著提高產品質量。 4 工藝簡單、操作方便，生產可控性強，產品一致性好。 5 屬于健康型工藝，對操作人員身體無傷害。
漆膜附著力劃格法 判定
與傳統燃燒技術相比，等離子處理技術具有環保、處理徹底、無二次污染、低碳排放等特點。它是一種能徹底吹除各種有毒有毒物質，有效去除污染，可廣泛應用的新技術。。等離子清洗機用途廣泛。在手機行業、噴涂行業、橡塑行業，在噴涂前采用等離子表面活化處理，以提高產品的表面清潔度和表面活性，在大氣壓下受到高壓激發，點燃等離子。等離子體在壓縮空氣的幫助下從噴嘴噴出。
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