等離子設備中的分子一般由幾個原子組成，潮濕表面上有附著力的樹脂由于這些原子相互作用，分子能級比原子能級復雜，而且氣體分子的激發和電離也不同于氣體原子的激發和電離。除了電子能量，分子的內能還包括振動能和轉動能，這些能量也是分離的，能量級圖非常復雜。
物理吸附是分子與表面的弱相互作用，附著力的是幾還是分這個過程是放熱的，被物理吸附的分子與表面的結合能很弱，吸附后能迅速從表面擴散；化學吸附是當一個被吸附的原子或分子與表面原子形成化學鍵，這是一個非常放熱的過程。解吸是在等離子清潔器中的等離子體與固體材料表面之間的界面處，通過??電子、離子、光子和中性粒子將能量轉移到固體材料表面吸附的原子或分子上。分子可以克服吸附。通常有離子解吸、電子解吸、中性粒子解吸、光解吸等。
等離子體處理還具有以下幾個特點：容易采用數控技術，附著力的是幾還是分自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。。很多接觸過等離子設備的人士都知道，我們的等離子設備只是在行業中的一個統稱，等離子設備是分為很多種的，比如說有大氣等離子設備，有真空等離子設備，還有卷對卷等離子設備。
等離子體是指被電離的氣體，潮濕表面上有附著力的樹脂它與固態、液態和氣態物質比較有不同的物理和化學性質，常被稱為物質的第四態。由于等離子體中存在大量電子、正離子、自由基、亞穩態的分子和原子等，當等離子體與被清洗物質表面相互接觸時，會產生物理刻蝕、化學分解等物理和化學過程，從而分解或清除污染物。大氣常壓等離子清洗機結構組成：大氣常壓等離子清洗機，包括高頻電源、供氣源、電極、等離子體放電區間和噴口等，如圖1所示。
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這種物質的狀態稱為等離子體狀態，也稱為位物質的第四狀態。 低溫等離子體是指低壓放電(輝光、電暈、高頻、微波等)行成的電離氣體。)。在電場的作用下，氣體中的自由電子從電場中獲取能量，變成高能電子。
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等離子排除了由濕式化學清洗帶來的危險，與其它清洗方式相比的優勢在于清洗后無廢液。總之，等離子工藝是一種簡單到幾乎不需管理的清洗工藝。。
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