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選擇“（圖片5.3.2功能圖片）”參數頁面“（圖片5.3.3參數圖片）。更改洗滌時間或清除洗滌數據。 2.點擊下一步進入手冊頁，設置氧氣和氬氣閥門打開，返回主機界面。 3.調整功率。功率調節范圍為80%到%，根據實驗需要進行調節。四。放置要處理的對象在型腔內，關閉型腔門并按下啟動按鈕開始疏散。五。一旦腔體產生輝光，根據實驗要求手動調節流量計旋鈕添加輔助氣體。 6.達到處理時間后，平衡閥自動恢復，3秒左右恢復到常壓。
流量 300sccm ,.上電極功率300W，時間Ss； 4、等離子清洗方式，氣體沖洗工藝工藝參數設置如下：腔體壓力10-20底，工藝氣體流量-300sccm，時間1-5s；啟動工藝工藝參數設置如下：（腔體壓力10-20 mtorr，工藝氣體流量-300ccm，頂部電極輸出250-400W，時間1-5s；特點5，等離子清洗方式，氣體1。
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