一起來看看血漿的操作流程和注意事項。1）低溫等離子體運行時對電源的要求為：交流220V/380V的頻率為50/60Hz，附著力系統故障燈也就是3/12.5kW，具體配置應根據需要確定，啟動前應打開電源檢查，設備運行后應發出平穩的運行聲，一般綠色指示燈常亮，表示設備運行正常，如為黃色故障燈，應停止運行檢修。

一，附著力系統故障燈低溫等離子清洗設備在運行的時候對于電源的要求是220V的交流電頻率為50HZ的電源，應該在開啟設備之前做好電源的連接和檢查工作，設備運行之后應該發出的是平穩的運轉聲，而且通常會有綠色的指示燈常亮來顯示設備正常運行，如果出現黃色故障燈亮起，則要停止運行進行排休檢查。

1、plasma清洗機低溫等離子設備在運行時對電源的要求是：交流電壓220V或者380V，附著力系統故障燈在打開設備前應先接通電源并檢查電源，設備運行后應發出平滑的運轉聲音，且通常有綠色指示燈常亮以顯示設備正常運行，如有黃色故障燈亮起，應停止運行進行檢修。

腔室壓力反應 腔室中的壓力是工藝氣體流量、腔體泄漏率和真空泵速度的動態平衡。物理等離子清洗工藝模式使用的腔體內壓力相對較低。物理等離子清洗工藝需要激發離子與工件表面碰撞。如果腔室壓力過高，附著力系數與速度成反比被激發的離子在到達清洗表面之前會與其他離子多次碰撞，降低清洗效果。激發離子在碰撞前經過的距離稱為離子的平均自由程，與腔室壓力成反比。物理等離子清洗過程需要低壓以最大化平均自由程和最大化沖擊影響。

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物理等離子清洗工藝模式使用的腔體內壓力相對較低。物理等離子清洗工藝需要激發離子與工件表面碰撞。如果腔室壓力過高，被激發的離子在到達清洗表面之前會與其他離子多次碰撞，降低清洗效果。激發離子在碰撞前經過的距離稱為離子的平均自由程，與腔室壓力成反比。物理等離子清洗過程需要低壓以最大化平均自由程和最大化沖擊影響。但是，如果腔體內的壓力降得太低，將沒有足夠的活性離子在有效時間內清潔工件。

(3) 等離子清洗機溫度等離子轟擊使工件溫度升高，等離子清洗過程中，射頻功率和清洗時間都會影響工件的溫度。國際上的研究表明，射頻頻率與溫度呈反比：與射頻功率成正比，溫度越高；對不同材料的溫度有不同的要求，金屬件一般沒有特別的要求但要注意防止金屬的氧化，非金屬等溫度要低，防止變形。(4) 等離子清洗機壓強在設備運轉過程中，真空腔體內的壓力關鍵受到漏氣率、充氣速度和抽氣速度的影響。

產品主要銷售于真空電子、LED、光伏、集成電路、生命科學、半導體科學研究、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領域。等離子清洗設備制造的零部件均選用零部件行業的領先產品，確保性能和技術穩定。等離子表面處理設備特點：等離子清洗機清洗效果好，效率高，適用范圍廣。等離子清洗機清洗樣品不需要任何材料或外觀尺寸，等離子清洗機加工過程中的溫升很小，基本可以達到室溫。射頻功率是無限連續可調的。

真空等離子處理系統清洗半導體銅支架變色問題分析：半導體封裝工業，包括集成電路、分立器件、傳感器和光電器件的封裝，通常使用銅制引線框架，為了提高焊接和封塑的可靠性，銅制支架一般要經過真空等離子處理系統處理，以去除表面的有機物質、污染物，增加其表面的可焊性和粘接性。有時我們會發現，銅制支架在真空等離子處理系統真空環境下處理不當，易出現表面變色發黑，嚴重時會出現燒板等現象。

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微波等離子產生原理微波頻率相對于其他頻率有兩個決定性優勢，附著力系統故障燈其一是離子濃度最高,在微波等離子里的反應微粒數量要遠遠大于在RF等離子里的反應等離子數量，這會使反應速度更快，反應時間更短。其二，等離子的一個自然特性是可以在直接暴露于等離子的基材上生成一種自偏壓。這種自偏壓要取決于等離子的激勵頻率,比如頻率為2.45GHz的微波一般僅要求5-15伏,而在同樣的情況下,RF等離子自偏壓卻要求100伏。

　　等離子體與固體表面發生反應可以分為物理反應和化學反應。物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面，附著力系統故障燈使污染物脫離表面最終被真空泵吸走；化學反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發性的物質，再由真空泵吸走揮發性的物質。