溫度較低或速率加快的反應都是受等離子表面處理機的催化等離子表面處理機環境對許多化學變化都有利，具體反應的發生與否主要取決于輸入的工藝參數，如氣體種類、流速、壓力、輸入功率等。等離子表面處理機形成的等離子體是由多種顆粒組成的復雜體系催化大部分為粘附了金屬材料活性成分的多孔介質，當催化與等離子體觸碰時彼此之間會形成相應干擾。催化的物理化學性能等產生變化，從而提高催化的活性和穩定性等離子體的顆粒類別和濃度值產生變化推動等離子體化學變化。
只有當分子的能量超過活化能時，才能發生化學變化。常規化學中，這種能量是通過分子之間或分子與壁之間的碰撞來傳遞的。對等離子體而言，一方面，可以逐步提高振動能量，使其轉化為非常低的反應能量；另一方面，電子與分子碰撞，使中性分子轉化為多種活性成分，或使中等粒子電離，其主要成分主要是超活性中性粒子、陽離子和陰離子。
在常規化學變化不能形成大量新成分的情況下，等離子表面處理機成了一種功能很強大的化學手段，擔負起了催化角色。一般情況下，溫度較低的反應或者給定溫度下速率加快的反應都是受到了等離子表面處理機的干擾。溫度較低或速率加快的反應都是受等離子表面處理機的催化00224465