在汽車工業, 為了使汽車部件具有更好的隔音效(果), 需要對一些零部件進行植絨處理, 如手套箱 、 中(央)控制臺存貯隔間 、無線電槽孔和門板等。通常 , 植絨底材為云母和PP混合物 ,絨毛材料在靜電作用下被植入 PP 表面的濕潤黏性涂層中。為了確保底材能夠很好地附著黏性涂層, 在使用黏性涂層前, 必須對PP進行等離子表面處理 。經等離子表面處理后的 PP 表面能大約可提高 10 倍。
在普通等離子體清洗機輝光放電陰極區，云母的表面改性正離子數密度是恒定的。隨著電流密度的增加，反常輝光區電場的畸變會進一步增大，陰極電位下降區的功率損耗會越來越大，導致陰極上的濺射。陰極濺射是輝光放電陰極上的一種特殊工藝，可以去除陰極表面不同性質的粘附層，使金屬膜與金屬、玻璃、陶瓷、云母等材料粘附。。等離子清洗機預處理可顯著提高不銹鋼表面鍍層的結合強度；不銹鋼以其良好的力學性能、易加工性和可靠性被廣泛應用于人體植入材料。
電流密度的提高在進入反常輝光區時會導致電場的失真陰極位降進一步升高，云母的表面改性在陰極位降區內功率損失越來越大，從而導致陰極上濺射。陰極濺射是輝光放電陰極上的一種特殊工藝，它能清除陰極表面具有不同性能的粘附層，使金屬膜粘附于金屬、玻璃、陶瓷、云母等材料上。。
一、加熱電極載物托盤介紹 反應腔體設計為等離子清洗工藝常見的規則盒形，云母的表面改性電極電容耦合平行載物托盤的加熱采用耐高溫電絕緣材料兩片云母板中間夾常用電加熱絲的方式。在已知為真空內加熱電壓及加熱絲電阻的情況下，根據需求的較大加熱溫度及升溫時間，計算出合理的加熱功率和電流，并根據載物托盤的大小設計適...
