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反應等離子體氣體主要有02、H2、NH3、CO2、H20、S02、HVH20、空氣、甘油蒸汽和乙醇蒸汽。在等離子體的作用下,FPCplasma表面清洗耐火塑料表面出現了一些活性原子、自由基和不飽和鍵。這些活性基團將與等離子體中的活性粒子發生反應,形成新的活性基團。而帶有活性基團的物質會受到氧的作用或分子鏈段運動的影響,使表面活性基團消失。單板(FPC/PCB)出廠前使用真空等離子表面清洗機進行表面清洗。

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