半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備支持直徑從75MM到300MM的圓形或方形晶圓/基板的自動(dòng)化加工處理。此外,半導(dǎo)體等離子體蝕刻設(shè)備根據(jù)晶片的厚度,可以使用或不使用載體進(jìn)行片材加工。等離子室設(shè)計(jì)提供了出色的蝕刻均勻性和工藝再現(xiàn)性。等離子表面處理的使用主要涉及蝕刻、灰化和除塵等各種工藝。其他等離子處理包括去污、表面粗糙化、增加水分、提高附著力和強(qiáng)度、光刻膠/聚合物剝離、介電蝕刻、晶片凸塊、有機(jī)物去除和晶片釋放。

半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備用于PCB電路板加工,半導(dǎo)體等離子體蝕刻設(shè)備是晶圓級(jí)和3D封裝的理想選擇。除塵、使用等離子包括灰化/https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png光刻膠https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png/http://hahfy.cn/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png聚合物剝離、介電蝕刻、晶圓凸塊、有機(jī)物去除、晶圓釋放。半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備是晶圓加工前常見的后端封裝工藝,是晶圓扇出、晶圓級(jí)封裝、3D封裝、倒裝芯片和傳統(tǒng)封裝的理想選擇。型腔規(guī)劃和操作的結(jié)構(gòu)減少了等離子循環(huán)時(shí)間,同時(shí)降低了開銷,保持了生產(chǎn)計(jì)劃的生產(chǎn)效率并降低了成本。

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半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備使用鋁合金型腔達(dá)到其他清洗方法難以達(dá)到的效果的原因http://hahfy.cn/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備使用鋁合金型腔的原因:http://hahfy.cn/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png常用于半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備不同行業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域如石英玻璃、不銹鋼和鋁合金的選擇不同。為什么半導(dǎo)體行業(yè)的大部分半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備都使用鋁合金?半導(dǎo)體行業(yè)使用的等離子清洗設(shè)備在清洗和蝕刻過程中特別注重真空反應(yīng)室材料的選擇。畢竟晶圓、支架等產(chǎn)品的加工環(huán)境比較高。

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