下面由等離子體發生器的制造商描述儀器行為的演變。在 PLC 出現之前,浙江真空等離子供應所有等離子發生器的控制系統都是由繼電器控制的。中控通常包括按鍵和觸摸兩種控制方式。按鈕控制是指使用手動控制來控制電氣設備的電路。觸點控制是使用繼電器進行邏輯控制,包括電氣設備電路和繼電器本身的線圈。繼電器控制是將電氣元件的機械觸點串聯和并聯連接,形成邏輯控制電路。實驗真空等離子清洗機由按鍵操作控制。

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頻率選擇通常為 13.56MHz 和 2.45GHz。有效輸出:對于一定量的氣體,真空等離子供應輸出功率大,活性粒子密度高,脫膠速度快,但當輸出功率增加到一定值時,消耗能量的活性離子達到飽和狀態,之后輸出功率增加,脫膠速度也不清楚。電源的大小應根據實際應用標準進行調整。真空值選擇:適度提高真空值會增加電子的平均自由程和從靜電場獲得的動能,有利于弱電解質。

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