在真空室中，半導體等離子去膠設備射頻電源在一定壓力下產生高能無序等離子體，通過等離子轟擊清洗產品表面。達到清洗的目的。等離子體處理可納入導電，半導電和非導電應用。等離子體清洗表面的有效方法是去除雜質、污染物、殘留物和有機(機械)化合物。這個過程被稱為微清洗或蝕刻，提供了提高附著力的另一個重要方面。此外，等離子體表面活化(轉化)處理(快)快、有效、經濟、環保。
儲存、排放等處理措施，半導體等離子體清潔設備使生產現場易于保持清潔衛生;等離子清洗可以不搬運物體，并可以搬運各種材料，無論是金屬。半導體、氧化物或聚丙烯等聚合物材料。聚氯乙烯。聚酰亞胺。聚酯、環氧樹脂等)。特別適用于不耐高溫、不耐溶劑的材料。同時，你可以對整體有所選擇。局部或復雜結構進行局部清洗;四、在完成清洗去污后，可改善材料本身的表面性能。如提高表面潤濕性，提高膜的附著力等，在許多方面都有重要的應用。五、性能穩定，性價比高。
一、等離子體處理設備的特點環保技術:等離子體離子處理設備的作用過程為氣固共格反應，半導體等離子去膠設備不消耗水資源，不添加化學藥劑，不污染環境。適用范圍廣:可以很好地處理金屬復合材料、半導體材料、金屬氧化物和大多數高分子材料，無論被加工對象的類型。
它不區分加工對象，半導體等離子去膠設備可以處理不同的基片，無論是金屬、半導體、氧化物還是聚合物材料都可以用等離子體很好地處理，因此，特別適用于耐高溫和耐溶劑的基片材料。等離子清洗機是一種高科技產品，它也被稱為等離子表面處理設備，其主要特點可以達到常規清洗所不能達到的效果，同時提高了產品質量，有效的解決了環保問題。
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其中，中國臺灣主板廠商今年紛紛加大資本支出投資擴建廠房和生產，尤其是ABF主板投資更為活躍。至于Mainland China制造商而加載板比例不高,但是因為喜歡加載板,前景是積極的輸入,負載板PCB的整體輸出中國尚未達到5%,而且主要是在MEMS等產品的初步階段,但在半導體行業的國家政策和修養,預計將加快中國大陸在載重板上的發展。
從各種清洗方法來看，等離子體清洗是最先進的清洗方法。等離子清洗技術的特點是既可加工基材類型的對象，可加工如金屬、半導體和氧化物等大部分高分子材料(如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚(乙氯、環氧、聚四氟乙烯)、如對原基材可以處理得很好，并可以實現整體和局部的清洗和復雜的結構。清洗的重要作用之一是提高膜的附著力，如在硅襯里沉積Au膜較低，Ar等離子體處理表面碳氫化合物等污染，明顯提高Au的附著力。
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