自由基的作用主要表現在化學響應過程中能量轉移的“激活”作用，氧化膜附著力的影響處于激發狀態的自由基具有較高的能量，因此，當它容易與物體外部的分子結合時，就會形成新的自由基，新形成的自由基也處于不穩定的高能狀態，很可能會出現分化反響，反應過程可能會持續，最終分裂成水、二氧化碳等簡單分子。在其他情況下，自由基與物體表面的分子結合，釋放出大量的結合能，進而觸發新的分子回擊的驅動力，進而使物體表面的物質發生化學回擊而被去除。

一、等離子清洗裝置的特點——清洗表面清潔，氧化膜附著力的影響顧名思義，主要是去除產品表面的污染物，主要是清洗普通水基清潔設備無法徹底清潔的污染物。僅表面。產品表面侵蝕、弱鍵、典型的基于 CH 的氧化物和污染物去除。為下一步做好準備。

等離子清洗的機理主要是與材料表面發生反應。該反應可分為兩種：粒子的化學作用，氧化膜附著力的影響主要是自由基活性粒子，和粒子的物理作用，主要是陽離子。和電子的。氣體放電產生的等離子體包括電子、陽離子、亞穩態分子、原子等。當在洗手間浸入等離子體時，等離子體中的化學活性粒子會與材料表面的污染物發生化學反應。它是氫離子，反應是還原反應；如果是氧離子，就會發生氧化反應。

中小型多功能等離子清洗機受電場效果，氧化膜附著力的影響它們發生磕碰而構成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以損壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的外表引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學功能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應生成氣體，從而到達清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿意刻蝕的需要。。

氧化膜附著力的影響

氬和氦性質穩定，放電電壓低(氬原子電離能E為15.57eV)，容易形成亞穩態原子。等離子清洗機一方面利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧化或還原的物體，Ar+轟擊污垢形成揮發性污垢，用真空泵抽走，避免了表面物質的反應；另一方面，亞穩原子容易利用氬形成，然后與氧和氫分子碰撞時發生電荷轉換和結合，形成氧氫活性原子作用于物體表面。

它也是一種容易氧化和還原的材料。等離子表面處理機的材料也可用于反轉氧氣和氫氣氬氣的清洗順序，進行徹底清洗。氬氣：物理沖擊是氬氣凈化的機制。由于其原子尺寸大，氬氣是一種有效的物理等離子清洗氣體。樣品表面會受到很大的沖擊。正氬離子被吸引到負極板。沖擊力足以去除表面的污垢。這些氣態污染物由真空泵排出。氧氣：在化學過程中，等離子體與樣品表面的化合物發生反應。

三、降低死層影響低溫等離子體的處理可以使得表面磷原子分布更加均勻，促進磷原子落位正確，降低了電池片面的死層影響。

在未來工藝節點減少的情況下，單片晶圓清洗設備是目前可預測技術下清洗設備的主流。等離子體清洗設備是貫穿半導體產業鏈的重要環節，用于清洗每一步原材料和半成品上可能存在的雜質，避免雜質影響成品質量和下游產品性能，是單晶硅片制造、光刻、刻蝕、沉積、封裝工藝等關鍵工序的必要環節。。

氧化膜附著力的影響

等離子清洗機不放電或放電不穩定，氧化膜附著力差怎么處理往往是等離子發生器阻抗匹配出的情況。當等離子體發生器發射能量,如果反應腔和電極的阻抗(以下簡稱負載)不等于傳輸線的特性阻抗,它將反映在傳輸過程中,通過加熱和部分能量散失和其他方面,而不是所有的能量都被負載的等離子體吸收的等離子清洗機。這將直接影響等離子體表面處理的效果。

等離子體表面處理由于低溫等離子體的強度小于高溫等離子體，氧化膜附著力的影響它可以保護被處理物體的表面，所以我們在應用中使用低溫等離子體。而各種顆粒在處理物體的過程中所顯示的作用是不一樣的，自由基(自由基)主要是實現表面化學反應過程中的能量轉移。激活和整個;作用;表面電子的影響對象主要包括兩個方面:一方面,對物體表面的影響,另一方面,化學反應引起的大量電子的影響;離子可以通過濺射過程對象的表面。