低溫等離子表面處理去除材料表面的污染物離子體中的自由基電性強，存在時間長，比離子體多。在等離子體中，自由基是揮發(fā)性很強的，它的效用主要是在化學反應過程中能量傳遞的活化，在激發(fā)態(tài)下自由基能量很高，易于與材料表面的分子結合，形成新的自由基。此外，當自由基與材料表面分子結合時，會釋放大量的結合能量，這將產(chǎn)生新的表面反應推動力，從而消除材料表面物質(zhì)之間的化學反應。
由于電子與材料表面的碰撞，會促使吸附在表面的氣體分子分解解吸，而電子的大量碰撞則有利于產(chǎn)生化學反應。因為電子質(zhì)量很小，所以比離子的移動速度要快得多，在等離子體處理過程中，電子比離子早到達材料表面，使表面產(chǎn)生負電荷，有利于引起進一步的反應。
低溫等離子清洗中通常指帶正電荷的陽離子的效用，它會加速沖入帶負電荷的表面，這就是我們所說的，使材料表面獲得相當大的動能，以撞擊除去表面依附的顆粒狀物質(zhì)，這種現(xiàn)象叫做濺射，而且通過離子的沖擊力，材料表面發(fā)生化學反應的幾率會大大增加。
UV具有很強的光能量，能夠破壞和分解附在材料表面的分子鍵。此外，紫外線具有很強的滲透性，可以通過材料表面深度達到幾微米。總之，低溫等離子清洗是利用等離子體內(nèi)各種高能物質(zhì)及活化效用，將依附于材料表面的污跡全面剝除除去。低溫等離子表面處理去除材料表面的污染物00224357