簡(jiǎn)單地說(shuō)，聚氨酯面漆附著力不強(qiáng)被電離的“氣體”由離子、電子和中性粒子組成，這些粒子沒(méi)有被電離，整體上是電中性的。等離子體不必完全由離子構(gòu)成。等離子體屬于非凝聚態(tài)，組成等離子體的粒子離解度高，粒子間相互作用不強(qiáng)。凝聚態(tài)物質(zhì)是由大量粒子在物質(zhì)狀態(tài)下聚集而成的一種狀態(tài)，液體和固體都是很常見(jiàn)的凝聚態(tài)物質(zhì)。等離子體是宇宙中非常常見(jiàn)的物質(zhì)形式。

無(wú)線電范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子的方向不強(qiáng)，聚氨酯面漆附著力不強(qiáng)深入到微小的孔洞和凹陷的物體內(nèi)部完成清洗工作，所以不需要考慮被清洗物體的形狀。此外，這些難清洗部位的清洗效果等同于或優(yōu)于氟利昂清洗。五。等離子清洗可用于顯著提高清洗效率。整個(gè)清洗過(guò)程可在幾分鐘內(nèi)完成，其特點(diǎn)是良率高。 6、等離子清洗需要控制的真空度在 PA左右，這個(gè)清洗條件很容易達(dá)到。

送至下道工序，聚氨酯面漆附著力差提高整條工藝線的加工效率； 2）高頻范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體，方向性不強(qiáng)，穿透到物體深處。微孔和凹形內(nèi)部可以完成傳統(tǒng)清潔無(wú)法完成的清潔任務(wù)，并且可以很好地處理難以清潔的部件。 3）等離子技術(shù)不需要清洗液的運(yùn)輸、儲(chǔ)存、排放或其他方式，易于保持生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的清潔衛(wèi)生，體現(xiàn)了??設(shè)備的高度環(huán)保性。 4）安全性能強(qiáng)。

真空室的平行板等離子體表面處理系統(tǒng)、功率密度和電子數(shù)密度對(duì)稱分布,和鞘中的電場(chǎng)很強(qiáng),所以大量的高頻能量在這個(gè)區(qū)域是等離子體的電子轉(zhuǎn)移。然而，聚氨酯面漆附著力差電子在X方向上來(lái)回振蕩，在鞘層獲得的速度在等離子體內(nèi)部逐漸消散，在等離子體內(nèi)部電子數(shù)密度趨于高。如果中性電子粒子的表皮深度和平均自由程不是太小，則鞘層中的電子數(shù)密度很低，如下圖所示。。

聚氨酯面漆附著力不強(qiáng)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，幾乎每一道工序都需要進(jìn)行清洗，晶圓清洗的質(zhì)量對(duì)器件性能有嚴(yán)重影響。正是由于晶圓清洗是半導(dǎo)體制造工藝中重要且頻繁的一步，其工藝質(zhì)量將直接影響器件的良品率、性能和可靠性，因此國(guó)內(nèi)外各大公司和研究機(jī)構(gòu)對(duì)清洗工藝的研究不斷進(jìn)行。等離子體清洗作為一種先進(jìn)的干洗技術(shù)，具有環(huán)保等特點(diǎn)。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展，等離子體清洗機(jī)也越來(lái)越多地應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。

氫離子等離子體表面處理儀電源開(kāi)關(guān)等離子放電在選取懶惰氣體做好等離子體表面處理時(shí)，若所處理的高聚物材料本身含有氧，則大分子裂解形成大分子碎片，進(jìn)入等離子體內(nèi)部，為等離子體系統(tǒng)提供氧，也會(huì)形成氧等離子體效應(yīng)。

粒子在等離子體的能量通常是幾個(gè)到幾十個(gè)電子伏特,大于鍵能的高分子材料(超過(guò)十幾個(gè)電子伏特),完全可以打破化學(xué)鍵的有機(jī)大分子和形成新的債券;然而,這是遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于高能放射性輻射,其中只涉及材料的表面，不影響基體的性能。冷等離子體,不是在熱力學(xué)平衡,電子有很高的能量,可以打破材料表面分子的化學(xué)鍵,提高粒子的化學(xué)反應(yīng)活性(大于熱等離子體),而中性粒子的溫度接近室溫。

等離子體清洗機(jī)的清洗原理如下:等離子體與物體表面的作用除了氣體分子、離子和電子外，還有被能量激發(fā)的處于激發(fā)態(tài)的電中性原子或自由基(也稱自由基)，以及等離子體發(fā)出的光。紫外線波長(zhǎng)短，在等離子體-表面相互作用中起著重要作用。它們的功能如下所述。自由基(如自由基)與物體表面的反應(yīng)這些自由基在等離子體中起重要作用，因?yàn)樗鼈兪请娭行缘模瑝勖L(zhǎng)，在等離子體中比離子更豐富。

聚氨酯面漆附著力不強(qiáng)