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根據放電形式的不同，低溫等離子體可以分為下述幾種：輝光放電(GlowDischarge)   輝光放電屬于低氣壓放電(low pressure discharge)，工作壓力一般都低于10mbar，其構造是在封閉的容器內放置兩個平行的電極板，利用電子將中性原子和分子激發，當粒子由激發態(excited state)降回至基態(ground state)時會以光的形式釋放出能量。

半導體行業：半導體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝的預處理。陶器：包裝、分配前處理。 PI表面粗化、PPS刻蝕、半導體硅片上PN結去除、ITO薄膜刻蝕等。塑料材質：Teflon TFRO 表面活性劑，ABS表面活化，以及其他塑料材料的清洗和活化，涂敷前表面ITO清洗。。

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