半導體等離子清洗設備支持直徑從75MM到300MM的圓形或方形晶圓/基板的自動化加工處理。此外,半導體等離子體蝕刻設備根據晶片的厚度,可以使用或不使用載體進行片材加工。等離子室設計提供了出色的蝕刻均勻性和工藝再現性。等離子表面處理的使用主要涉及蝕刻、灰化和除塵等各種工藝。其他等離子處理包括去污、表面粗糙化、增加水分、提高附著力和強度、光刻膠/聚合物剝離、介電蝕刻、晶片凸塊、有機物去除和晶片釋放。

半導體等離子清洗設備用于PCB電路板加工,半導體等離子體蝕刻設備是晶圓級和3D封裝的理想選擇。除塵、使用等離子包括灰化/https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png光刻膠https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png/http://hahfy.cn/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png聚合物剝離、介電蝕刻、晶圓凸塊、有機物去除、晶圓釋放。半導體等離子清洗設備是晶圓加工前常見的后端封裝工藝,是晶圓扇出、晶圓級封裝、3D封裝、倒裝芯片和傳統封裝的理想選擇。型腔規劃和操作的結構減少了等離子循環時間,同時降低了開銷,保持了生產計劃的生產效率并降低了成本。

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半導體等離子清洗設備使用鋁合金型腔達到其他清洗方法難以達到的效果的原因http://hahfy.cn/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png半導體等離子清洗設備使用鋁合金型腔的原因:http://hahfy.cn/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli05.png常用于半導體等離子清洗設備不同行業和應用領域如石英玻璃、不銹鋼和鋁合金的選擇不同。為什么半導體行業的大部分半導體等離子清洗設備都使用鋁合金?半導體行業使用的等離子清洗設備在清洗和蝕刻過程中特別注重真空反應室材料的選擇。畢竟晶圓、支架等產品的加工環境比較高。

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