正如將固體轉化為氣體需要能量一樣，電暈處理機原理及電路圖產生離子體也需要能量。一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子（包括原子、離子和自由粒子）的混合物組成的。離子體可以導電并與電磁力發生反應。當溫度升高時，物質從固體變成液體，液體會變成氣體。當氣體的溫度升高時，氣體分子就會分離成原子。如果溫度繼續升高，原子核周圍的電子就會脫離原子，變成離子（正電荷）和電子（負電荷）。
在外加電場加速下，電暈處理機的電流多大部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞，并將從電場中獲得的能量轉移到氣體中。電子與中性分子的彈性碰撞導致分子動能增加，表現為溫度的升高；非彈性碰撞導致激發（分子或原子中的電子從低能級躍遷到高能級）、解離（分子分解為原子）或電離（分子或原子的外層電子從束縛態轉變為自由電子）。高溫氣體通過傳導、對流和輻射向周圍環境傳遞能量。在穩態條件下，給定體積中的輸入能和損失能相等。
例如，電暈處理機原理及電路圖在硅刻蝕工藝中使用的CF4/O2等離子體中，在壓力較低時，離子轟擊起主導作用，而隨著壓力的增加，化學刻蝕不斷加強，逐漸起主導作用。工作氣體的選擇是否也會影響等離子體清洗效果？工藝氣體的選擇是等離子體清洗工藝設計的關鍵步驟。雖然大多數氣體或氣體混合物在很多情況下可以去除污染物，但清洗速度可以相差幾倍甚至幾十倍。
11.在無線電波范圍內高頻產生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，電暈處理機原理及電路圖使其深入到物體的微孔和凹陷處完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果（果子）和氟利昂清洗差不多，甚至更好。12.采用等離子清洗，可大大提高清洗效率。整個清洗過程可在幾分鐘內完成，因此具有收率高的特點。13.等離子清洗機要控制的真空度在Pa左右，很容易達到。
電暈處理機的電流多大
通常指帶正電荷的陽離子的作用，陽離子有加速向帶負電荷表面移動的趨勢。在這種情況下，物體表面獲得相當大的動能，足以移除附著在表面上的粒子。我們稱之為濺射現象，通過離子的撞擊在物體表面發生的化學反應紫外線具有很強的光能，能使附著在物體表面的物質分子鍵斷裂和分解。此外，它具有很強的滲透性，可以穿透物體表面至幾微米的深度。
電暈處理機原理及電路圖
