(4) 等離子發生器的運行時間不能超過使用說明書中描述的時間范圍。此外,等離子表面處理機設備的風道必須通風良好。否則,設備的燃燒器會燒壞,造成損失。 (5)等離子清洗機在維護或保養過程中,必須先關閉等離子發生器的電源,然后再進行相關的維護工作。等離子表面處理機 氣體團簇離子束蝕刻技術 等離子表面處理機 氣體團簇離子束蝕刻技術: 等離子表面處理機 氣體團簇離子束蝕刻具有常規等離子蝕刻所沒有的一系列功能。

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n12 + 188.25 n13) kJ/mol (4-5) 在式(4-5)中,n11、n2和n3分別表示以下。 n11為C2烴產物中C2H6的摩爾分數,mol/%,n12為C2烴產物中C2H4的摩爾分數,mol/%;n13為C2烴產物中C2H2的摩爾分數,比率為摩爾/%。

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