圖1-5（a）顯示了單間隙單介質阻擋放電反應器的結構。其特點是電介質與高壓電極相連，劃圈法測附著力圖片放電區位于接地電極和電介質之間。它結構簡單，常用于產生臭氧。圖1-5（b）顯示了雙間隙單介質勢壘放電反應器的結構。其特點是等離子清洗器與介質的上下電極各自形成兩個不同的反應區，一般用于產生兩種不同成分的等離子體。圖1-5(c)顯示了單間隙雙介質勢壘放電反應器的結構。其特點是兩層電介質之間發生反應。

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