金屬電極的設(shè)計對等離子清潔功效有顯著干擾金屬電極的設(shè)計對等離子清潔功效有顯著干擾，主要包括金屬電極的材料、布局和尺寸。對于內(nèi)金屬電極等離子表面處理器，由于金屬電極暴露在等離子中，某些材料的金屬電極會被某些等離子蝕刻或濺射，引起很多不必要的環(huán)境污染，致使金屬電極尺寸的變化，從而干擾等離子清潔系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
等離子清潔功效會伴隨著輸出功率的提升而持續(xù)改善，當(dāng)主要是物理的作用時，應(yīng)減低壓力，提升離子能量。當(dāng)主要是化學(xué)作用時，應(yīng)提升一些壓力，以確保反應(yīng)的氣體的濃度。較小的金屬電極間距可以將等離子限制在狹窄的區(qū)域，從而獲得更高密度的等離子，實現(xiàn)更快的清潔。伴隨著間距的提升，清潔速度逐漸減低，但均勻性逐漸增強。金屬電極的尺寸通常決定等離子系統(tǒng)的總體容積。金屬電極的設(shè)計對等離子清潔功效有顯著干擾00224818