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廣泛應用于半導體制造中,是半導體制造中不可缺少的工藝。因此,它是集成電路加工中一項非常悠久和成熟的技術。由于等離子體是一種高能量、高活性的物質,對有機物等具有很高的蝕刻效果,而且等離子體是通過干法制造而無污染的,因此近年來得到了廣泛的應用。在印刷板的制造中。

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